WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006043631) CONNECTEUR CONDUCTEUR ANISOTROPE POUR INSPECTION DE PLAQUETTE, PROCÉDÉ DE FABRICATION IDOINE, CARTE DE SONDE D’INSPECTION DE PLAQUETTE, PROCÉDÉ DE FABRICATION IDOINE, ET DISPOSITIF D’INSPECTION DE PLAQUETTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/043631    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/019309
Date de publication : 27.04.2006 Date de dépôt international : 20.10.2005
CIB :
H01R 43/00 (2006.01), H01R 11/01 (2006.01)
Déposants : JSR Corporation [JP/JP]; 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040045 (JP) (Tous Sauf US).
KIMURA, Kiyoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HARA, Fujio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMADA, Daisuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SHIMODA, Sugiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KIMURA, Kiyoshi; (JP).
HARA, Fujio; (JP).
YAMADA, Daisuke; (JP).
SHIMODA, Sugiro; (JP)
Mandataire : OHI, Masahiko; Nissenren-Asahiseimei Building 4, Kanda Surugadai 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010062 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-308963 22.10.2004 JP
2005-148067 20.05.2005 JP
2005-250764 31.08.2005 JP
Titre (EN) ANISOTROPIC CONDUCTIVE CONNECTOR FOR INSPECTING WAFER, MANUFACTURING METHOD THEREOF, WAVER INSPECTION PROBE CARD, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND WAFER INSPECTION DEVICE
(FR) CONNECTEUR CONDUCTEUR ANISOTROPE POUR INSPECTION DE PLAQUETTE, PROCÉDÉ DE FABRICATION IDOINE, CARTE DE SONDE D’INSPECTION DE PLAQUETTE, PROCÉDÉ DE FABRICATION IDOINE, ET DISPOSITIF D’INSPECTION DE PLAQUETTE
(JA) ウエハ検査用異方導電性コネクターおよびその製造方法、ウエハ検査用プローブカードおよびその製造方法並びにウエハ検査装置
Abrégé : front page image
(EN)There is disclosed an anisotropic conductive connector capable of surely achieving a preferable electric connection state even when electrodes to be inspected on a wafer have an extremely small pitch. There are also disclosed a manufacturing method of the anisotropic conductive connector, a probe card, a manufacturing method thereof, and a wafer inspection device. The anisotropic conductive connector manufacturing method includes: a step for arranging contact members formed by magnetic metal and arranged on the surface of conductive elastomer material layer formed on a detachable support plate; a step for applying a magnetic field to the conductive elastomer material layer in its thickness direction; a step for performing a hardening process to form a conductive elastomer layer; a step of machining the conductive elastomer layer by using laser; a step or removing portions other than the portion where the contact members are arranged, thereby forming connection conductive parts having the contact members; a step for introducing each of the connection conductive parts into the insulation part material layer formed so as to close the opening of the frame plate; and a step for hardening the insulation part material layer so as to form an insulation part.
(FR)L’invention concerne un connecteur conducteur anisotrope capable de réaliser de façon sûre un état de branchement électrique préférable même si les électrodes à inspecter sur une plaquette ont un pas extrêmement petit. Elle concerne également un procédé de fabrication du connecteur conducteur anisotrope, une carte de sonde, un procédé de fabrication idoine et un dispositif d’inspection de plaquette. Le procédé de fabrication de connecteur conducteur anisotrope comporte : une phase de disposition d'éléments de contact constitués de métal magnétique et installés à la surface d'une couche de matériau élastomère conducteur formée sur une plaque support amovible ; une phase d’application d‘un champ magnétique à la couche de matériau élastomère conducteur dans le sens de l’épaisseur ; une phase de réalisation d’un processus de durcissement pour constituer une couche élastomère conductrice ; une phase d‘usinage au laser de la couche élastomère conductrice ; une phase d’enlèvement de portions autres que la portion sur laquelle les éléments de contact sont disposés, constituant ainsi des pièces conductrices de connexion possédant les éléments de contact ; une phase d’introduction de chacune des pièces conductrices de connexion dans la couche de matériau de pièce d’isolation pour refermer l’ouverture de la plaque de châssis ; et une phase de durcissement de la couche de matériau de pièce d’isolation pour produire une pièce d’isolation.
(JA) 被検査電極のピッチが極めて小さいウエハに対しても、良好な電気的接続状態を確実に達成することができる異方導電性コネクターおよびその製造方法、プローブカードおよびその製造方法並びにウエハ検査装置が開示されている。  本発明の異方導電性コネクターの製造方法は、離型性支持板上に形成された導電性エラストマー用材料層の表面に、磁性を示す金属よりなる接点部材を配置し、導電性エラストマー用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させると共に硬化処理を行って導電性エラストマー層を形成し、導電性エラストマー層をレーザー加工して接点部材が配置された部分以外の部分を除去することにより、接点部材が設けられた接続用導電部を形成し、この接続用導電部の各々を、フレーム板の開口を塞ぐよう形成された絶縁部用材料層中に浸入させ、絶縁部用材料層を硬化処理して絶縁部を形成する工程を有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)