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1. (WO2006043509) APPAREIL VERTICAL DE TRAITEMENT THERMIQUE ET MÉTHODE POUR L’EXPLOITER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/043509    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/019039
Date de publication : 27.04.2006 Date de dépôt international : 17.10.2005
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
HARAKI, Kenjiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAMOTO, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
UEMURA, Satoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TSUNODA, Yuji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TAKEUCHI, Yasushi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KANEKO, Hirofumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HARAKI, Kenjiro; (JP).
YAMAMOTO, Hiroyuki; (JP).
UEMURA, Satoshi; (JP).
TSUNODA, Yuji; (JP).
TAKEUCHI, Yasushi; (JP).
KANEKO, Hirofumi; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-303614 19.10.2004 JP
Titre (EN) VERTICAL HEAT TREATMENT APPARATUS AND METHOD FOR OPERATING SAME
(FR) APPAREIL VERTICAL DE TRAITEMENT THERMIQUE ET MÉTHODE POUR L’EXPLOITER
(JA) 縦型熱処理装置及びその運用方法
Abrégé : front page image
(EN)A vertical heat treatment apparatus is provided with at least one of carrying in/out parts (3, 4) for carrying in and out a transporting container (2) storing a plurality of sheets of works (W) to be treated to and from the vertical heat treatment apparatus; a first storing part (5) for storing a plurality of transporting containers carried into the vertical heat treatment apparatus through the carrying in/out part; a heat treatment furnace (7) for performing prescribed heat treatment to the works by storing a holding tool (6) holding a multitude of sheets of works at a multitude of levels; and a transfer part (8) for placing the transporting container to transfer the works between the holding tool and the transporting container. The vertical heat treatment apparatus is provided with an upper level carrying in/out part (3) and a lower level carrying in/out part (4) as the carrying in/out part; and a second storing part (20) for storing the transporting container between the upper level and the lower level carrying in/out parts. One of the carrying in/out parts (3, 4) is permitted to be a third storing part (30) for storing the transporting container (2). The number of transporting containers to be stored can be increased without increasing the footprint, and a throughput can be improved.
(FR)L’invention concerne un appareil de traitement thermique vertical possédant au moins une partie porteuse d’entrée/sortie (3, 4) servant à apporter et à emporter un conteneur de transport (2) stockant une pluralité de tôles (W) à traiter de et vers l’appareil de traitement thermique vertical ; une première partie de stockage (5) servant à stocker une pluralité de conteneurs de transports apportés dans l’appareil de traitement thermique vertical par la partie porteuse d’entrée/sortie ; un fourneau de traitement thermique (7) servant à appliquer un traitement thermique prescrit aux pièces en comportant un outil de saisie (6) qui tient une multitude de tôles à une multitude de niveaux ; et une partie de transfert (8) servant à placer le conteneur de transport pour transférer les tôles entre l’outil de saisie et le conteneur de transport. L’appareil de traitement thermique vertical est doté d’une partie porteuse d’entrée/sortie de niveau supérieur (3) et d’une partie porteuse d’entrée/sortie de niveau inférieur (4) utilisées en tant que partie porteuse d’entrée/sortie ; et d’une seconde partie de stockage (20) pour stocker le conteneur de transport entre les parties porteuses d’entrée/sortie de niveaux supérieur et inférieur. L’une des parties porteuses d’entrée/sortie (3, 4) joue le rôle d’une troisième partie de stockage (30) pour stocker le conteneur de transport (2). Il est ainsi possible d’augmenter le nombre de conteneurs de transport à stocker (sans augmenter la surface au sol) et d’améliorer le rendement.
(JA)not available
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)