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1. (WO2006041720) PROCEDE ET APPAREIL POUR FORMER UNE PRESSION DE REFERENCE A L'INTERIEUR DE LA CHAMBRE D'UN DETECTEUR DE CAPACITANCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/041720    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/035170
Date de publication : 20.04.2006 Date de dépôt international : 03.10.2005
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    04.05.2006    
CIB :
G01L 9/00 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 90 Industrial Way, Wilimington, MA 01887 (US) (Tous Sauf US).
GRUDZIEN, Chris, P. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : GRUDZIEN, Chris, P.; (US)
Mandataire : GOLDENBERG, Richard, A.; Wilmer Cutler Pickering Hale and Dorr LLP, 60 State Street, Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
10/960,153 07.10.2004 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR FORMING A REFERENCE PRESSURE WITHIN A CHAMBER OF A CAPACITANCE SENSOR
(FR) PROCEDE ET APPAREIL POUR FORMER UNE PRESSION DE REFERENCE A L'INTERIEUR DE LA CHAMBRE D'UN DETECTEUR DE CAPACITANCE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is directed at methods and apparatuses for facilitating the establishment of a reference pressure within a reference chamber of a pressure transducer. The transducer has a housing and a cover, the housing defining a reference chamber and an aperture. A meltable sealing material is disposed on at least one of the cover and the housing. The apparatus includes a pressure chamber that is rotatable between a first position and a second position, a pressure source that is connected to the pressure chamber, a guide that is attachable to the transducer near the aperture, and a heater for selectively heating the pressure chamber to a temperature sufficiently high to melt the sealing material. The cover is positioned in an internal space of the guide. The guide is attached to the transducer near the aperture. The transducer, cover and guide are placed in the pressure chamber, the pressure chamber is rotated to the first position and a pressure is generated in the pressure chamber via the pressure source. After a reference pressure has been established in the reference chamber, the pressure chamber is rotated to the second position. Gravity causes the cover to move within the space towards the aperture when the pressure chamber is rotated to the second position. The heater then heats the pressure chamber to melt the sealing material. Upon cooling, the sealing material forms a seal that seals the reference pressure in the reference chamber of the transducer.
(FR)L'invention concerne des procédés et des appareils pour faciliter l'établissement d'une pression référence à l'intérieur d'une chambre référence d'un transducteur de pression. Le transducteur présente un logement et un revêtement, le logement définissant une chambre de référence et un orifice. Un matériau de scellement pouvant être fondu est disposé sur le revêtement ou le logement. L'appareil comprend une chambre de pression qui peut tourner autour d'une première position et d'une seconde position, une source de pression reliée à la chambre de pression, un guide qui est fixé au transducteur à proximité de l'orifice, et un dispositif de chauffage permettant de chauffer de manière sélective la chambre de pression à une température suffisamment élevée pour faire fondre le matériau de scellement. Le revêtement est positionné dans un espace interne du guide. Ledit guide est fixé au transducteur à proximité de l'orifice. Le transducteur, le revêtement et le guide sont placés dans la chambre de pression, ladite chambre pouvant tourner dans la première position et une pression est produite dans la chambre de pression par l'intermédiaire de la source de pression. Après l'établissement d'une pression de référence dans la chambre de référence, la chambre de pression effectue une rotation dans la seconde position. La gravité entraîne le déplacement du revêtement à l'intérieur de l'espace vers l'orifice, lorsque la chambre de pression effectue une rotation dans la seconde position. Le dispositif de chauffage chauffe ensuite la chambre de pression pour faire fondre le matériau de scellement. Lors du refroidissement, le matériau de scellement forme un joint étanche qui enferme la pression de référence dans la chambre de référence du transducteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)