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1. (WO2006041645) PROCEDES LITHOGRAPHIQUES UTILISANT DES COMPOSITIONS A CHANGEMENT DE PHASE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/041645    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/034044
Date de publication : 20.04.2006 Date de dépôt international : 23.09.2005
CIB :
G03F 7/00 (2006.01)
Déposants : DOW CORNING CORPORATION [US/US]; 2200 West Salzburg Road, Midland, MI 48686-0994 (US) (Tous Sauf US).
CHEN, Wei [US/US]; (US) (US Seulement).
HARKNESS, Brian, Robert [US/US]; (US) (US Seulement).
SUDBURY-HOLTSCHLAG, Joan [US/US]; (US) (US Seulement).
PETROFF, Lenin, James [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CHEN, Wei; (US).
HARKNESS, Brian, Robert; (US).
SUDBURY-HOLTSCHLAG, Joan; (US).
PETROFF, Lenin, James; (US)
Représentant
commun :
MILCO, Larry, A.; Dow Corning Corporation, 2200 West Salzburg Road, Midland, MI 48686-0994 (US)
Données relatives à la priorité :
60/617,233 08.10.2004 US
Titre (EN) LITHOGRAPHY PROCESSES USING PHASE CHANGE COMPOSITIONS
(FR) PROCEDES LITHOGRAPHIQUES UTILISANT DES COMPOSITIONS A CHANGEMENT DE PHASE
Abrégé : front page image
(EN)A lithography method includes the steps of: A) filling a mold having a patterned surface with a phase change composition at a temperature above the phase change temperature of the phase change composition; B) hardening the phase change composition to form a patterned feature; C) separating the mold and the patterned feature; optionally D) etching the patterned feature; optionally E) cleaning the mold; and optionally F) repeating steps A) to D) reusing the mold. The PCC may include an organofunctional silicone wax.
(FR)L'invention concerne un procédé lithographique qui consiste : A) à remplir un moule pourvu d'une surface ornée d'un motif comprenant une composition à changement de phase à une température dépassant la température de changement de phase de la composition à changement de phase ; B) à durcir la composition à changement de phase afin de former un élément orné d'un motif ; C) à séparer le moule et l'élément orné d'un motif ; éventuellement D) à graver l'élément orné d'un motif ; éventuellement E) à nettoyer le moule ; et éventuellement F) à répéter les étapes A) à D) en réutilisant le moule. La composition à changement de phase peut comprendre une cire au silicone organofonctionnelle
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)