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1. (WO2006040924) CORPS BOUCLIER ET APPAREIL DE TRAITEMENT SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/040924    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/017778
Date de publication : 20.04.2006 Date de dépôt international : 27.09.2005
CIB :
C23C 16/44 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
NOZAWA, Toshihisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YUASA, Tamaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NOZAWA, Toshihisa; (JP).
YUASA, Tamaki; (JP)
Mandataire : ITOH, Tadahiko; 32nd Floor, Yebisu Garden Place Tower 20-3, Ebisu 4-Chome Shibuya-Ku, Tokyo 1506032 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-298966 13.10.2004 JP
Titre (EN) SHIELD BODY AND VACUUM PROCESSING APPARATUS
(FR) CORPS BOUCLIER ET APPAREIL DE TRAITEMENT SOUS VIDE
(JA) シールド体および真空処理装置
Abrégé : front page image
(EN)A vacuum processing apparatus using a shield body that is used in a processing container of the vacuum processing apparatus, that has a heating means, and that has a simple structure enabling the shield body to be thinned. A vacuum processing apparatus having a processing container, a gas discharge means for discharging gas in processing space inside the processing container, a holding table for holding a substrate to be processed, and a shield body placed inside the processing container. The shield body has an outer wall structure exposed to the processing space that is located inside the processing container and is reduced in pressure, inner space formed inside the outer wall structure and isolated from the processing space, and a heating means placed in the processing space and heating the outer wall structure. The inner space is communicated with the outside of the vacuum processing container, and the heating means is constructed so as to extend into the inner space in a sheet-like form.
(FR)L’invention concerne un appareil de traitement sous vide utilisant un corps bouclier qui est monté dans un réceptacle de traitement de l’appareil de traitement sous vide, doté d’un moyen de chauffage et présentant une structure simple permettant l’utilisation d’un corps bouclier aminci. L’appareil de traitement sous vide comprend un réceptacle de traitement, un moyen d’introduction de gaz pour introduire du gaz dans l’espace de traitement à l’intérieur du réceptacle de traitement, une table de maintien pour maintenir un substrat à traiter, et un corps bouclier placé à l’intérieur du réceptacle de traitement. Le corps bouclier comporte une structure de paroi extérieure exposée à l’espace de traitement situé à l’intérieur du réceptacle de traitement et présentant une pression réduite, un espace intérieur formé à l’intérieur de la structure de paroi extérieure et isolé de l’espace de traitement, et un moyen de chauffage placé dans l’espace de traitement et chauffant la structure de paroi extérieure. L’espace intérieur communique avec l’extérieur du réceptacle de traitement, et le moyen chauffant est configuré de manière à s’étendre dans l’espace intérieur sous la forme d’une feuille.
(JA) 本発明は、真空処理装置の処理容器内に用いる、シールド体であって、加熱手段を有し、単純な構造で薄型化が可能なシールド体を用いた真空処理装置を提供することを課題としている。  そのため、本発明では、処理容器と、前記処理容器内部の処理空間を排気する排気手段と、被処理基板を保持する保持台と、前記処理容器内部に設置されるシールド体と、を有する真空処理装置であって、前記シールド体は、前記処理容器内部の減圧された処理空間に露出される外壁構造と、前記外壁構造の内部に形成された、前記処理空間と隔絶された内部空間と、前記内部空間に設置された、前記外壁構造を加熱する加熱手段と、を有し、前記内部空間は前記真空処理容器の外部に連通し、前記加熱手段はシート状に前記内部空間に延伸するようにして形成されていることを特徴とする真空処理装置を用いている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)