WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006040864) COUSSIN ABRASIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/040864    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/012903
Date de publication : 20.04.2006 Date de dépôt international : 13.07.2005
CIB :
B24B 37/20 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : NIHON MICROCOATING CO., LTD. [JP/JP]; 4-1, Musashino 3-chome, Akishima-shi, Tokyo 1960021 (JP) (Tous Sauf US).
IZUMI, Toshihiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TAMURA, Jun [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAGAMINE, Takuya [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ARAHATA, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : IZUMI, Toshihiro; (JP).
TAMURA, Jun; (JP).
NAGAMINE, Takuya; (JP).
ARAHATA, Takashi; (JP)
Mandataire : TAKEUCHI, Sumio; NBF Toranomon Building 6-21, Nishishimbashi 1-chome Minato-ku Tokyo1050003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-299838 14.10.2004 JP
Titre (EN) ABRASIVE PAD
(FR) COUSSIN ABRASIF
(JA) 研磨パッド
Abrégé : front page image
(EN)An abrasive pad with which the surface of a wafer can be evenly flattened in a short time. It is a rigid abrasive pad having a high recovery from compression and a low compressibility. The abrasive pad (10) is constituted of a sheet-form pad main body (11) made of a nonfoamed synthetic resin. The pad main body has a shore D hardness of 66.0-78.5, desirably 70.0-78.5, preferably 70.0-78.0, more desirably 72.0-76.0. The compressibility of the pad main body is 4% or lower, preferably 2% or lower. The recovery from compression of the pad main body is 50% or higher, preferably 70% or higher.
(FR)La présente invention a pour objet un coussin abrasif permettant d'aplanir la surface d’une tranche en un temps court. Ledit coussin est un coussin abrasif rigide de faible déformation rémanente après compression et présentant une compressibilité faible. Le coussin abrasif (10) est constitué d’un corps principal en forme de feuille (11) fabriqué dans une résine synthétique non expansée. Le corps principal du coussin présente une dureté shore D comprise entre 66,0 et 78,5, de préférence entre 70,0 et 78,5, plus préférentiellement entre 70,0 et 78,0, et encore plus préférentiellement entre 72,0 et 76,0. La compressibilité du corps principal du coussin est inférieure ou égale à 4 %, de préférence inférieure ou égale à 2 %. La déformation rémanente du corps principal du coussin après compression est inférieure ou égale à 50 %, préférentiellement inférieure ou égale à 30 %.
(JA) ウエハの表面を短時間で均一に平坦化できる研磨パッドを提供することである。高圧縮回復率を有し、低圧縮率を有する硬質の研磨パッド。研磨パッド10は、合成樹脂の無発泡体からなるシート状のパッド本体11から構成される。パッド本体のショアD硬度は、66.0~78.5の範囲、好ましくは70.0~78.5の範囲、より好ましくは70.0~78.0の範囲、さらに好ましくは72.0~76.0の範囲にある。パッド本体の圧縮率は、4%以下の範囲にあり、好ましくは2%以下の範囲にある。パッド本体の圧縮回復率は、50%以上の範囲、好ましくは70%以上の範囲にある。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)