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1. (WO2006040858) DISPOSITIF DE MAINTIEN PAR ASPIRATION DU TYPE SANS CONTACT

Pub. No.:    WO/2006/040858    International Application No.:    PCT/JP2005/011912
Publication Date: 20 avr. 2006 International Filing Date: 29 juin 2005
IPC: H01L 21/68
Applicants: LINTEC CORPORATION
リンテック株式会社
KURITA, Tsuyoshi
栗田 剛
NAKADA, Kan
中田 幹
Inventors: KURITA, Tsuyoshi
栗田 剛
NAKADA, Kan
中田 幹
Title: DISPOSITIF DE MAINTIEN PAR ASPIRATION DU TYPE SANS CONTACT
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de maintien par aspiration du type sans contact qui aspire et maintient un élément analogue à une plaque sans aucun contact, la partie (partie principale) de l'élément excluant son bord périphérique étant libre de flotter par rapport à une table d'aspiration. Il est donc possible de maintenir de façon sûre l'élément analogue à une plaque sans en endommager la surface. Dans un dispositif de maintien par aspiration du type sans contact (1) selon l'invention, un moyen d'aspiration du type Bernoulli (10) créant une pression négative par propulsion d'un jet d'air (gaz) est monté sur une table d'aspiration (2). Une plaquette (élément analogue à une plaque) (W) est placée au niveau de son bord de surface inférieure sur la table d'aspiration (2) et y est maintenue par le moyen d'aspiration du type Bernoulli (10) de façon à ce que la partie (partie principale) de la plaquette (W) excluant son bord périphérique soit libre de flotter par rapport à la table d'aspiration (2). La plaquette (W) est donc maintenue sans aucun contact par rapport à la table d'aspiration (2). Un moyen presseur est par ailleurs monté dans le dispositif de maintien par aspiration sans contact et maintient la plaquette (W) sensiblement à plat en exerçant une pression vers le haut sur la partie centrale de surface inférieure de la plaquette (W) qui est aspirée et maintenue par la table d'aspiration (2).