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1. (WO2006040275) SYSTEME DE DISTRIBUTION DE GAZ ALLONGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/040275    N° de la demande internationale :    PCT/EP2005/054986
Date de publication : 20.04.2006 Date de dépôt international : 04.10.2005
CIB :
C23C 16/455 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : BEKAERT ADVANCED COATINGS [BE/BE]; E-3 Laan 75-79, B-9800 DEINZE (BE) (Tous Sauf US).
BLONDEEL, Anja [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
DE BOSSCHER, Wilmert [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
GODERIS, Parsifal [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
VAN DE PUTTE, Ivan [BE/BE]; (BE) (US Seulement)
Inventeurs : BLONDEEL, Anja; (BE).
DE BOSSCHER, Wilmert; (BE).
GODERIS, Parsifal; (BE).
VAN DE PUTTE, Ivan; (BE)
Mandataire : MESSELY, Marc; Bekaertstraat 2, B-8550 ZWEVEGEM (BE)
Données relatives à la priorité :
04104976.8 11.10.2004 EP
Titre (EN) AN ELONGATED GAS DITRIBUTION SYSTEM
(FR) SYSTEME DE DISTRIBUTION DE GAZ ALLONGE
Abrégé : front page image
(EN)An elongated gas distribution system is described for use in a plasma deposition or plasma cleaning apparatus. The system is provided in the form of a stack of elongated strips. The strips have grooves milled in them that form channels once the strips are stacked upon each other. Such an arrangement is particularly design flexible and allows for a finely branched gas distribution tree. The incorporation of gas flow controlling means such as valves or vanes inside or on the gas distribution system becomes also possible. By actuating these gas flow controlling means based on the input of a plasma, deposited layer or cleaned substrate feedback parameter, a fast responding gas distribution system is realised. In addition, some of the strips can be used to incorporate a cooling circuit for cooling the elongated gas distribution system.
(FR)L'invention porte sur un système de distribution de gaz destiné à un appareil de revêtement par projection plasma ou de nettoyage au plasma. Le système de l'invention se présente sous la forme d'une pile de bandes allongées. Les bandes sont munies de rainures meulées qui forment des canaux dès que les bandes sont empilées les unes sur les autres. L'agencement précité offre une souplesse de conception particulièrement élevée et permet d'obtenir un système de distribution de gaz arborescent à fines ramifications. Ledit agencement rend également possible l'intégration de moyens de régulation de débit gazeux tels que des soupapes ou des papillons à l'intérieur ou sur le système de distribution de gaz. En actionnant lesdits moyens de régulation de débit gazeux sur la base d'un paramètre de rétroaction d'entrée de plasma, de dépôt de couche ou de nettoyage de substrat, on obtient un système de distribution de gaz à réaction rapide. En outre, on peut utiliser certaines bandes pour intégrer un circuit de refroidissement destiné refroidir le système de distribution de gaz allongé précité.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)