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1. (WO2006039796) SYSTEME ET PROCEDE DE MESURE DE PROFIL DE REPARTITION VERTICALE D'OBJETS REFLECHISSANTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/039796    N° de la demande internationale :    PCT/CA2005/001555
Date de publication : 20.04.2006 Date de dépôt international : 07.10.2005
CIB :
G01B 11/02 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01)
Déposants : SOLVISION INC. [CA/CA]; 50 de Lauzon, Suite 100, Boucheville, Québec J4B 1E6 (CA) (Tous Sauf US).
CANTIN, Michel [CA/CA]; (CA) (US Seulement).
QUIRION, Benoît [CA/CA]; (CA) (US Seulement).
NIKITINE, Alexandre [CA/CA]; (CA) (US Seulement)
Inventeurs : CANTIN, Michel; (CA).
QUIRION, Benoît; (CA).
NIKITINE, Alexandre; (CA)
Mandataire : BERESKIN & PARR; 40 King Street West, 40th Floor, Toronto, Ontario M5H 3Y2 (CA)
Données relatives à la priorité :
10/962,444 13.10.2004 US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR HEIGHT PROFILE MEASUREMENT OF REFLECTING OBJETCS
(FR) SYSTEME ET PROCEDE DE MESURE DE PROFIL DE REPARTITION VERTICALE D'OBJETS REFLECHISSANTS
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides an interferometric method and system to measure the height profile of reflecting objects with respect of a reference surface. The method comprises obtaining an image of the object along a specular reflection axis, wherein the image corresponds to an intensity pattern projected on the object along a projection axis, and wherein the specular reflection axis corresponds to a direction along which a portion of the intensity pattern is specularly reflected by the object. Then the method comprises calculating an object phase using the image and determining the height profile using the object phase and a reference phase associated to the reference surface.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système interférométrique pour mesurer la répartition verticale d'objets réfléchissants par rapport à une surface de référence. Ledit procédé comprend d'obtenir une image de l'objet le long d'un axe de réflexion spéculaire, ladite image correspondant à un schéma d'intensité projeté sur l'objet le long d'un axe de projection. L'axe de réflexion spéculaire correspondant à une direction le long de laquelle une section du schéma d'intensité est réfléchi de manière spéculaire par l'objet. Il est ensuite prévu, selon le procédé, de calculer une phase d'objet à l'aide de l'image et de déterminer le profil de répartition verticale au moyen de la phase d'objet et une phase de référence associée à la surface de référence.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)