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1. (WO2006039317) SYSTEME DE TRAITEMENT D'UN FLUIDE SUPERCRITIQUE COMPRENANT UN REVETEMENT SUR DES ELEMENTS INTERNES ET SON PROCEDE D'UTILISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/039317    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/034753
Date de publication : 13.04.2006 Date de dépôt international : 27.09.2005
CIB :
B01J 3/00 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107 (JP) (Tous Sauf US).
TOKYO ELECTRON AMERICA, INC. [US/US]; 2400 Grove Boulevard, Austin, TX 78741-6500 (US) (JP only).
BABIC, Darko [YU/US]; (US) (US Seulement).
WHITE, Carl, L. [US/US]; (US) (US Seulement).
SHEYDAYI, Alexei [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BABIC, Darko; (US).
WHITE, Carl, L.; (US).
SHEYDAYI, Alexei; (US)
Mandataire : FREI, Donald, F.; Wood, Herron & Evans, L.L.P., 2700 Carew Tower, Cincinnati, OH 45202 (US)
Données relatives à la priorité :
10/955,927 30.09.2004 US
Titre (EN) SUPERCRITICAL FLUID PROCESSING SYSTEM HAVING A COATING ON INTERNAL MEMBERS AND A METHOD OF USING
(FR) SYSTEME DE TRAITEMENT D'UN FLUIDE SUPERCRITIQUE COMPRENANT UN REVETEMENT SUR DES ELEMENTS INTERNES ET SON PROCEDE D'UTILISATION
Abrégé : front page image
(EN)A processing system (100) utilizing a supercritical fluid for treating a substrate (105) is described as having internal members having a coating. For example, the coating in internal members can reduce particulate contamination during processing. Additionally, a method for using the processing system is described.
(FR)Système de traitement (100) utilisant un fluide supercritique pour le traitement d'un substrat (105) comprenant des éléments internes à revêtement. Le revêtement des éléments internes réduit, par exemple, la contamination particulaire pendant le traitement. Procédé d'utilisation du système de traitement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)