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1. (WO2006039211) APPAREIL RESISTANT A LA CORROSION CONCU POUR COMMANDER UNE BUSE MULTIZONE DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT AU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/039211    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/034239
Date de publication : 13.04.2006 Date de dépôt international : 23.09.2005
CIB :
C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, P1333PCT, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
HAO, Fangli [CN/US]; (US) (US Seulement).
DAUGHERTY, John, E. [US/US]; (US) (US Seulement).
TAPPAN, James [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HAO, Fangli; (US).
DAUGHERTY, John, E.; (US).
TAPPAN, James; (US)
Mandataire : NGUYEN, Joseph, A.; PO Box 700640, San Jose, CA 95170 (US)
Données relatives à la priorité :
10/957,443 30.09.2004 US
Titre (EN) CORROSION RESISTANT APPARATUS FOR CONTROL OF A MULTI-ZONE NOZZLE IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM
(FR) APPAREIL RESISTANT A LA CORROSION CONCU POUR COMMANDER UNE BUSE MULTIZONE DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT AU PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)An integrated gas flow control assembly for connecting a gas distribution system to a multi-zone injector which includes: a first set of channels connecting the gas distribution system to a first valve assembly, a second valve assembly, a third flow assembly, and a fourth flow assembly; a second set of channels for connecting the third flow assembly and the first valve assembly to a first multi-zone injector zone; and a third set of channels for connecting the fourth flow assembly and the second valve assembly to a second multi-zone injector zone. If the first valve assembly is closed, a first multi-zone injector zone flow rate is about the flow rate through the third flow assembly, and if the second valve assembly is closed, a second multi-zone injector zone flow rate is about the flow rate through the fourth flow assembly.
(FR)La présente invention concerne un ensemble de commande d'écoulement gazeux intégré dans un système de traitement au plasma, qui est conçu pour relier un système de distribution de gaz à un injecteur multizone. Cet ensemble comprend un premier groupe de canaux reliant le système de distribution de gaz à un premier ensemble à clapet avec une première vitesse d'écoulement, un deuxième ensemble à clapet avec une deuxième vitesse d'écoulement, un troisième ensemble à clapet avec une troisième vitesse d'écoulement, ainsi qu'un quatrième ensemble à clapet avec une quatrième vitesse d'écoulement. Lorsque le premier ensemble à clapet est sensiblement ouvert, la troisième vitesse d'écoulement est inférieure à la première vitesse d'écoulement et lorsque le deuxième ensemble à clapet est sensiblement ouvert, la quatrième vitesse d'écoulement est inférieure à la deuxième vitesse d'écoulement. L'ensemble peut également comprendre un deuxième groupe de canaux pour relier le troisième ensemble d'écoulement et le premier ensemble à clapet à une première zone d'injecteur multizone. L'ensemble comprend aussi un troisième groupe de canaux pour relier le quatrième ensemble d'écoulement et le deuxième ensemble à clapet à une seconde zone d'injecteur multizone. Si le premier ensemble à clapet est fermé, la vitesse d'écoulement dans la première zone d'injecteur multizone est approximativement égale à la troisième vitesse d'écoulement et si le deuxième ensemble à clapet est fermé, la vitesse d'écoulement dans la seconde zone d'injecteur multizone est approximativement égale à la quatrième vitesse d'écoulement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)