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1. (WO2006039157) COMMANDE D'INJECTION DE FLUORINE D'UN EXCIMERE A CHAMBRES MULTIPLES OU D'UN LASER A DECHARGE GAZEUSE DE FLUORINE MOLECULAIRE A CHAMBRES MULTIPLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/039157    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/033754
Date de publication : 13.04.2006 Date de dépôt international : 19.09.2005
CIB :
H01S 3/22 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. [US/US]; (a Nevada Corporation), 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US) (Tous Sauf US).
BESAUCELE, Herve, A. [FR/US]; (US) (US Seulement).
DUNSTAN, Wayne, J. [AU/US]; (US) (US Seulement).
ISHIHARA, Toshihiko [JP/US]; (US) (US Seulement).
JACQUES, Robert, N. [US/US]; (US) (US Seulement).
TRINTCHOUK, Fedor, B. [RU/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BESAUCELE, Herve, A.; (US).
DUNSTAN, Wayne, J.; (US).
ISHIHARA, Toshihiko; (US).
JACQUES, Robert, N.; (US).
TRINTCHOUK, Fedor, B.; (US)
Mandataire : CRAY, William, C.; Cymer, Inc., Legal Dept., MS/4-2C, 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US)
Données relatives à la priorité :
10/953,100 29.09.2004 US
Titre (EN) MULTI-CHAMBERED EXCIMER OR MOLECULAR FLUORINE GAS DISCHARGE LASER FLUORINE INJECTION CONTROL
(FR) COMMANDE D'INJECTION DE FLUORINE D'UN EXCIMERE A CHAMBRES MULTIPLES OU D'UN LASER A DECHARGE GAZEUSE DE FLUORINE MOLECULAIRE A CHAMBRES MULTIPLES
Abrégé : front page image
(EN)A multi-chambered excimer or molecular halogen gas discharge laser system comprising at least one oscillator chamber and at least one amplifier chamber producing oscillator output laser light pulses that are amplified in the at least one power chamber, having a fluorine injection control system and a method of using same is disclosed, which may comprise: a halogen gas consumption estimator: estimating the amount of halogen gas that has been consumed in one of the at least one oscillator chamber based upon at least a first operating parameter of one of the least one oscillator chamber and the at least one amplifier chamber, and the difference between a second operating parameter of the at least one oscillator chamber and the at least one amplifier chamber, and estimating the amount of halogen gas that has been consumed in the other of the at least one oscillator chamber and the at least one amplifier chamber based upon at least a third operating parameter of the other of the at least one oscillator chamber and the at least one amplifier chamber, and producing an output representative of an estimated halogen gas consumption in the at least one oscillator chamber and of the halogen gas consumption in the at least one amplifier chamber, and a halogen gas injection controller determining the amount of halogen gas injection for the at least one oscillator chamber and the at least one amplifier chamber based upon the estimated fluorine consumption outputs from the fluorine consumption estimator and a cost function comprising a plurality of weighted injection decision determinations.
(FR)L'invention concerne un excimère à chambres multiples ou un système laser à décharge gazeuse d'halogène moléculaire à chambres multiples comprenant au moins une chambre d'oscillateur et au moins une chambre d'amplificateur produisant des impulsions de lumière laser de sortie d'oscillateur amplifiées dans au moins une chambre de puissance, comprenant un système de commande d'injection de fluorine et un procédé d'utilisation associé, pouvant comprendre: un élément d'estimation de la consommation de gaz d'halogène estimant la quantité de gaz d'halogène consommée dans la chambre d'oscillateur, en fonction d'au moins un premier paramètre de fonctionnement de celle-ci et de la chambre d'amplificateur et estimant la différence entre un deuxième paramètre de fonctionnement de la chambre d'oscillateur et de la chambre d'amplificateur et estimant la quantité de gaz d'halogène consommée dans l'autre chambre, en fonction d'au moins un troisième paramètre de fonctionnement de l'autre chambre et produisant une sortie représentant une consommation estimée de gaz d'halogène dans la chambre d'oscillateur et la consommation de gaz d'halogène dans la chambre d'amplificateur, et une commande d'injection de gaz d'halogène déterminant la quantité d'injection de gaz d'halogène destinée aux chambres d'oscillateur et d'amplificateur, en fonction des sorties de consommation de fluorine estimées par l'élément d'estimation de la consommation de fluorine et une fonction coûts comprenant une pluralité de déterminations de décisions d'injection pondérées.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)