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1. (WO2006039133) CHAMBRE DE TRAITEMENT D'UN OUTIL MULTIPOSTE INTEGRANT DES COMPARTIMENTS A HAUTE PRESSION ET A VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/039133    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/033508
Date de publication : 13.04.2006 Date de dépôt international : 21.09.2005
CIB :
C23G 1/00 (2006.01), B08B 5/04 (2006.01), B08B 3/00 (2006.01), C23F 1/00 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01), C23C 16/00 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Freemont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : KROEKER, Tony, R.; (US)
Mandataire : ALAPATI, Nanda, K.; Womble Carlyle Sandridge & Rice PLLC, P.O. Box 7037, Atlanta, GA 30357-0037 (US)
Données relatives à la priorité :
10/954,098 30.09.2004 US
Titre (EN) CLUSTER TOOL PROCESS CHAMBER HAVING INTEGRATED HIGH PRESSURE AND VACUUM CHAMBERS
(FR) CHAMBRE DE TRAITEMENT D'UN OUTIL MULTIPOSTE INTEGRANT DES COMPARTIMENTS A HAUTE PRESSION ET A VIDE
Abrégé : front page image
(EN)A cluster tool includes a transfer chamber connected to a plurality of vacuum chambers. An additional process chamber connected to the transfer chamber includes a high pressure chamber assembly seated on a housing. The high pressure chamber assembly, which is adjustable between an open position and a closed position, includes an upper and lower chamber portion. Hydraulic cylinders mounted on the upper chamber portion and having chamber rods that attach to the lower chamber portion are configured to move the lower chamber relative to the upper chamber portion between the two positions. When the two portions are in the closed position, the high pressure chamber assembly forms a high pressur chamber suitable for processing wafers with supercritical CO2. Once the high pressure chamber is formed, a region between lower chamber portion and a housing may be evacuated to form a vacuum chamber outside a portion of the high pressure chamber.
(FR)Selon l'invention, un outil multiposte comprend une chambre de transfert reliée à une pluralité de chambres à vide. Une chambre de traitement supplémentaire reliée à la chambre de transfert comprend un ensemble de chambres haute pression ménagées dans un boîtier. L'ensemble de chambres haute pression, qui est réglable entre une position ouverte et une position fermée, comprend une partie de chambre supérieure et une partie de chambre inférieure. Des vérins hydrauliques montés sur la partie de chambre supérieure et présentant des tiges de chambre qui s'attachent à la partie de chambre inférieure sont configurés pour déplacer la chambre inférieure relativement à la chambre supérieure entre les deux positions. Quand les deux parties sont réunies, l'ensemble de chambres haute pression forme une chambre haute pression appropriée pour le traitement de plaquettes avec un CO2 supercritique. Une fois la chambre haute pression formée, une zone située entre la partie de chambre inférieure et le boîtier peut être évacuée pour former une chambre à vide à l'extérieur d'une partie de la chambre haute pression.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)