WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006039127) ROUE DE BORD POUR PLAQUETTES MUNIE D'UNE FONCTION DE SECHAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/039127    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/033301
Date de publication : 13.04.2006 Date de dépôt international : 16.09.2005
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    07.04.2006    
CIB :
F26B 7/00 (2006.01), F26B 17/24 (2006.01), F26B 13/30 (2006.01), F26B 5/08 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
PARKS, John [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : PARKS, John; (US)
Mandataire : HEYMAN, Leonard; Martine Penilla & Gencarella LLP, 710 Lakeway Drive, Suite 200, Sunnyvale, CA 94085 (US)
Données relatives à la priorité :
10/957,146 30.09.2004 US
Titre (EN) WAFER EDGE WHEEL WITH DRYING FUNCTION
(FR) ROUE DE BORD POUR PLAQUETTES MUNIE D'UNE FONCTION DE SECHAGE
Abrégé : front page image
(EN)An edge wheel for supporting and rotating a disk-shaped substrate includes a wheel body having a peripheral groove configured to support and edge of a substrate and at least one radial channel extending into said wheel body from said peripheral groove. An edge wheel dryer and a method for processing a disk-shaped substrate are also described.
(FR)Selon l'invention, une roue de bord destinée à recevoir et tourner un substrat en forme de disque comprend un corps de la roue présentant une rainure périphérique configurée pour recevoir un bord d'un substrat et au moins un canal radial s'étendant à l'intérieur du corps de la roue depuis la rainure périphérique. L'invention concerne en outre un séchoir de roue de bord et un procédé de traitement d'un substrat en forme de disque.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)