WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006038228) PROCEDE DE REFROIDISSEMENT DE REACTEUR D'EPITAXIE ET REACTEUR AINSI REFROIDI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/038228    N° de la demande internationale :    PCT/IT2004/000542
Date de publication : 13.04.2006 Date de dépôt international : 01.10.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    29.12.2005    
CIB :
C23C 16/52 (2006.01)
Déposants : LPE SPA [IT/IT]; Via Dei Giovi, 7, I-20021 Bollate (IT) (Tous Sauf US).
OGLIARI, Vincenzo [IT/IT]; (IT) (US Seulement).
TARENZI, Giuseppe [IT/IT]; (IT) (US Seulement).
PUGLISI, Marco [IT/IT]; (IT) (US Seulement).
SPECIALE, Natale [IT/IT]; (IT) (US Seulement).
PRETI, Franco [IT/IT]; (IT) (US Seulement)
Inventeurs : OGLIARI, Vincenzo; (IT).
TARENZI, Giuseppe; (IT).
PUGLISI, Marco; (IT).
SPECIALE, Natale; (IT).
PRETI, Franco; (IT)
Mandataire : DRAGOTTI Gianfranco; Dragotti & Associati S.r.l., Via Turati, 32, I-20121 Milano (IT)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) EPITAXIAL REACTOR COOLING METHOD AND REACTOR COOLED THEREBY
(FR) PROCEDE DE REFROIDISSEMENT DE REACTEUR D'EPITAXIE ET REACTEUR AINSI REFROIDI
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a method for cooling the walls of the reaction chamber (2) of a reactor for chemical vapour deposition. The method consists in selectively cooling with water at least one predetermined zone of the wall of the chamber (2), to remove a different heat flow compared with the adjacent zones so as to obtain substantially uniform temperature distribution of the reaction chamber (2). In a preferred embodiment, the selectively-cooled zone is the zone above the susceptor (5) and is delimited by two ribs (8, 9). The invention also includes a reactor and a reaction chamber (2) for carrying out the cooling method.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de refroidir les parois de la chambre (2) de réaction d'un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur. Ce procédé consiste à refroidir sélectivement, à l'eau, au moins une zone prédéterminée de la paroi de la chambre (2) afin de supprimer tout flux de chaleur différent des zones adjacentes, de manière à obtenir une répartition sensiblement uniforme de la température dans la chambre (2) de réaction. Dans une forme de réalisation préférée, la zone refroidie sélectivement est la zone situé au dessus du suscepteur, cette zone étant délimitée par deux parties surélevées (8, 9). L'invention concerne également un réacteur et une chambre de réaction permettant la mise en oeuvre du procédé de refroidissement décrit.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)