WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006037444) APPAREIL D'EXPOSITION DE PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/037444    N° de la demande internationale :    PCT/EP2005/009966
Date de publication : 13.04.2006 Date de dépôt international : 16.09.2005
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL-ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, D-73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
FELDMANN, Heiko [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
EPPLE, Alexander [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
BLAHNIK, Vladan [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : FELDMANN, Heiko; (DE).
EPPLE, Alexander; (DE).
BLAHNIK, Vladan; (DE)
Mandataire : SCHWANHAEUSSER, Gernot; Ostertag & Partner, Eibenweg 10, 70597 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
60/615,988 05.10.2004 US
Titre (EN) MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
(FR) APPAREIL D'EXPOSITION DE PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A microlithographic projection exposure apparatus contains a projection objective, whose last optical element on the image side is a dry terminating element (TE; TE2; TE3) that has no refractive power and is designed for dry operation of the projection objective (20; 220; 320). According to the invention, the projection exposure apparatus furthermore contains an immersion terminating element (TE’; TE2’; TE3’) that has no refractive power and is designed for immersed operation of the projection objective. The immersion terminating element (TE’; TE2’; TE3’) is replaceable with the dry terminating element (TE; TE2; TE3). Preferably, the dry terminating element (TE; TE2; TE3) and/or the immersion terminating element (TE’; TE2’; TE3’) is composed of a plurality of plates (TP1, TP2; TP31’, TP32’), which are made of materials having different refractive indices.
(FR)Cette invention concerne un appareil d'exposition de projection microlithographique, qui comprend un objectif de projection, dont le dernier élément optique sur le côté image est un élément de terminaison à sec (TE; TE2; TE3) qui ne possède pas de puissance de réfraction et qui est conçu pour une opération à sec de l'objectif de projection (20; 220; 320). Cet appareil d'exposition de projection comprend en outre un élément de terminaison à immersion (TE'; TE2'; TE3') qui ne possède pas de puissance de réfraction et qui est conçu pour une opération immergée de l'objectif de projection. L'élément de terminaison à immersion (TE'; TE2'; TE3') est remplaçable par l'élément de terminaison à sec (TE; TE2; TE3). L'élément de terminaison à sec (TE; TE2; TE3) et/ou l'élément de terminaison à immersion (TE'; TE2'; TE3') est de préférence composé de plusieurs plaques (TP1, TP2; TP31', TP32'), qui sont constituées de matériau ayant différents indices de réfraction.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)