WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006036644) RESEAU DE LAMPES POUR TRAITEMENT THERMIQUE PRESENTANT UNE UNIFORMITE RADIALE AMELIOREE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/036644    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/033570
Date de publication : 06.04.2006 Date de dépôt international : 20.09.2005
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H05B 3/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 2881 Scott Boulevard, M/S 2061, Santa Clara, CA 95050 (US)
Inventeurs : RANISH, Joseph, M.; (US).
TANASA, Corina, E.; (US).
RAMAMURTHY, Sundar; (US).
LAI, Claudia; (US).
JALLEPALLY, Ravi; (US).
BALASUBRAMANIAN, Ramachandran; (US).
HUNTER, Aaron, M.; (US).
TJANDRA, Agus; (US).
TAM, Norman; (US)
Données relatives à la priorité :
60/613,289 27.09.2004 US
11/195,395 02.08.2005 US
Titre (EN) LAMP ARRAY FOR THERMAL PROCESSING EXHIBITING IMPROVED RADIAL UNIFORMITY
(FR) RESEAU DE LAMPES POUR TRAITEMENT THERMIQUE PRESENTANT UNE UNIFORMITE RADIALE AMELIOREE
Abrégé : front page image
(EN)A thermal processing chamber includes a substrate support rotating about a center axis and a lamphead of plural lamps in an array having a predetermined difference in radiance pattern between them. The radiance pattern includes a variation in diffuseness or collimation. In one embodiment, the center lines of all of the lamps are disposed away from the center axis. The array can be a hexagonal array, in which the center axis is located at a predetermined position between neighboring lamps.
(FR)L'invention concerne une chambre de traitement thermique comprenant un support de substrat tournant autour d'un axe central et une tête de lampe à plusieurs lampes en réseau présentant une différence prédéterminée de profil de luminance énergétique entre elles. Le profil de luminance énergétique inclut une variation de capacité de diffusion ou de collimation. Dans un mode de réalisation, les lignes centrales de toutes les lampes sont orientées dans un sens opposé à l'axe central. Ce réseau peut être un réseau hexagonal dans lequel l'axe central est situé à un emplacement prédéterminé entre des lampes adjacentes.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)