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1. (WO2006036385) DISPOSITIF MEMS FABRIQUE SUR UN SUBSTRAT PRECONFIGURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/036385    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/029821
Date de publication : 06.04.2006 Date de dépôt international : 22.08.2005
CIB :
G02B 26/00 (2006.01)
Déposants : IDC, LLC [US/US]; 2415 Third Street, San Francisco, CA 94107 (US) (Tous Sauf US).
CHUI, Clarence [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CHUI, Clarence; (US)
Mandataire : DELANEY, Karoline, A.; KNOBBE, MARTENS, OLSON AND BEAR, LLP, 2040 Main Street, Fourteenth Floor, Irvine, CA 92614 (US)
Données relatives à la priorité :
60/613,376 27.09.2004 US
11/174,220 01.07.2005 US
Titre (EN) MEMS DEVICE FABRICATED ON A PRE-PATTERNED SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF MEMS FABRIQUE SUR UN SUBSTRAT PRECONFIGURE
Abrégé : front page image
(EN)A microelectromechanical systems device fabricated on a pre-patterned substrate having grooves formed therein. A lower electrode is deposited over the substrate and separated by an orthogonal upper electrode by a cavity. The upper electrode is configured to be movable to modulate reflected light. A semi-reflective layer and a transparent material are formed over the movable upper electrode.
(FR)L'invention porte sur des système microélectromécaniques fabriqués sur un substrat préconfiguré dotée de rainures. Une électrode inférieure est déposée sur le substrat et séparée d'une électrode supérieure orthogonale par une cavité. Cette électrode supérieure est configurée de manière à bouger afin de moduler la lumière réfléchie. Une couche semi-réfléchissante et un matériau transparent sont formés sur l'électrode supérieure mobile.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)