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1. (WO2006035733) PORTE-SUBSTRAT POUR APPAREIL D’INSPECTION DE SUBSTRAT, ET APPAREIL D’INSPECTION DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/035733    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/017652
Date de publication : 06.04.2006 Date de dépôt international : 26.09.2005
CIB :
G01N 21/84 (2006.01), G01M 11/00 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01)
Déposants : OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072 (JP) (Tous Sauf US).
OKAHIRA, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OKAHIRA, Hiroyuki; (JP)
Mandataire : TANAI, Sumio; 2-3-1, Yaesu Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-279989 27.09.2004 JP
Titre (EN) SUBSTRATE HOLDER FOR SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS, AND SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS
(FR) PORTE-SUBSTRAT POUR APPAREIL D’INSPECTION DE SUBSTRAT, ET APPAREIL D’INSPECTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板検査装置の基板ホルダ及び基板検査装置
Abrégé : front page image
(EN)A substrate inspecting apparatus is provided with a substrate holder (6) for holding a substrate (W). The substrate holder (6) is provided with a plurality of supporting arm parts (10), which extend parallel to each other at equal intervals from a base part (7) attached to a multijoint robot (8) and have a comb teeth shape as a whole. On an upper plane (10a) of each supporting arm part (10), a suction part (12) is arranged for holding the substrate (W) by suction. Furthermore, on each of the sides of a base end part (11a) and the leading end part (11b) of the supporting arm part (10), a bar (15) is attached, and on the outer plane of the external supporting arm part (10), a bar (17) is attached. The side edges of the substrate (W) are held by the bars (15, 17).
(FR)Appareil d’inspection de substrat doté d’un porte-substrat (6) servant à tenir un substrat (W). Le porte-substrat (6) est doté d’une pluralité de parties de bras de support (10) qui s’étendent en parallèle les unes aux autres à des intervalles égaux d’une partie de base (7) fixée à un robot à articulations multiples (8) et qui sont formées, dans l’ensemble, en dents de peigne. Sur un plan supérieur (10a) de chaque partie de bras de support (10), une partie aspiration (12) est agencée pour tenir le substrat (W) par aspiration. Par ailleurs, une barre (15) est fixée sur chaque côté d’une partie d’extrémité de base (11a) et de la partie d’extrémité d’attaque (11b) de la partie de bras de support (10), une barre (17) étant fixée sur le plan externe de la partie de bras de support externe (10). Les bords latéraux du substrat (W) sont tenus par les barres (15, 17).
(JA) 本発明の基板検査装置は、基板Wを保持する基板ホルダ6を備えている。基板ホルダ6は、多関節ロボット8に取り付けられたベース部7から、複数の支持腕部10を平行に、かつ等間隔に延設させており、全体として櫛歯状になっている。各支持腕部10の上面10aには、基板Wを吸着保持するための吸着部12が配設されている。さらに、支持腕部10の基端部11a側と、先端部11b側のそれぞれに桟15が取り付けられており、外側の支持腕部10の外側面には支え桟17が取り付けられており、これら桟15,17で基板Wの側縁を保持できるようなっている。   
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)