WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2006034679) PROCEDE POUR REALISER UNE COUCHE CONTRAINTE SUR UN SUBSTRAT ET STRUCTURE DE COUCHES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/034679    N° de la demande internationale :    PCT/DE2005/001669
Date de publication : 06.04.2006 Date de dépôt international : 22.09.2005
CIB :
H01L 21/20 (2006.01), H01L 29/04 (2006.01)
Déposants : FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH [DE/DE]; Wilhelm-Johnen-Strasse, 52425 Jülich (DE) (Tous Sauf US).
MANTL, Siegfried [AT/DE]; (DE) (US Seulement).
HOLLÄNDER, Bernhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
BUCA, Dan, Mihai [RO/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : MANTL, Siegfried; (DE).
HOLLÄNDER, Bernhard; (DE).
BUCA, Dan, Mihai; (DE)
Représentant
commun :
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH; Fachbereich Patente, 52425 Jülich (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2004 048 096.6 30.09.2004 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VERSPANNTEN SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT UND SCHICHTSTRUKTUR
(EN) METHOD FOR PRODUCING A STRAINED LAYER ON A SUBSTRATE AND LAYERED STRUCTURE
(FR) PROCEDE POUR REALISER UNE COUCHE CONTRAINTE SUR UN SUBSTRAT ET STRUCTURE DE COUCHES
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung einer verspannten Schicht mit den Schritten: die Schicht wird auf einem Substrat angeordnet und verspannt; die verspannte Schicht wird strukturiert; die Schicht wird relaxiert; es werden gerichtete Versetzungen in der zu verspannenden Schicht gebildet. Eine auf diese Weise erzeugte Schichtstruktur weist triaxial verspannte Schichten auf.
(EN)The invention relates to a method for producing a strained layer. Said method comprises the following steps: placing the layer on a substrate and straining it, structuring the strained layer, relaxing the layer, producing directional off-sets in the layer to be strained. A layered structure produced in this manner has triaxially strained layers.
(FR)La présente invention concerne un procédé pour réaliser une couche contrainte, comprenant les étapes suivantes: la couche est appliquée sur un substrat et une contrainte est appliquée à ladite couche; la couche contrainte est structurée; la contrainte appliquée à la couche est supprimée; des décalages orientés sont formés dans la couche à contraindre. On obtient ainsi une structure de couches présentant des couches à contrainte triaxiale.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)