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1. (WO2006031411) POLYMERE LITHOGRAPHIQUE CONDUCTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIFS METTANT EN OEUVRE LEDIT POLYMERE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/031411    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/030407
Date de publication : 23.03.2006 Date de dépôt international : 26.08.2005
CIB :
G03F 7/09 (2006.01), G03F 7/038 (2006.01), H01L 21/768 (2006.01)
Déposants : INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard, Santa Clara, California 95052 (US) (Tous Sauf US).
SHIA, Rebecca [US/US]; (US) (US Seulement).
CHEN, Tsung-Yu; (TW) (US Seulement)
Inventeurs : SHIA, Rebecca; (US).
CHEN, Tsung-Yu; (TW)
Mandataire : VINCENT, Lester, J.; Blakely Sokoloff Taylor & Zafman, 12400 Wilshire Boulevard, 7th Floor, Los Angeles, California 950025 (US)
Données relatives à la priorité :
10/938,161 09.09.2004 US
Titre (EN) A CONDUCTIVE LITHOGRAPHIC POLYMER MIXTURE AND METHOD OF MAKING DEVICES USING SAME
(FR) POLYMERE LITHOGRAPHIQUE CONDUCTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIFS METTANT EN OEUVRE LEDIT POLYMERE
Abrégé : front page image
(EN)A conductive photolithographic film and method of forming a device using the conductive photolithographic film. The method includes depositing a conductive photolithographic film on a top surface of a substrate; and patterning the conductive photolithographic film to create a desired circuit pattern using a lithographic process. The conductive photolithographic film comprising about 50% to about 60% of a mixture of epoxy acrylate, a thermal curing agent, and a conductive polymer; about 20% to about 30% of a lithographic reactive component; about 10% to about 15% of a photo-active material; and about 3% to about 5% of additives that enhance conductivity of the conductive photolithographic polymer.
(FR)L'invention concerne un film photolithographique conducteur, ainsi qu'un procédé de fabrication de dispositif mettant en oeuvre ledit film. Ce procédé consiste à déposer un film photolithographique conducteur sur la surface supérieure d'un substrat, et à réaliser un motif sur le film photolithographique conducteur afin d'obtenir un motif de circuit désiré par la mise en oeuvre d'un processus lithographique. Le film selon l'invention contient: d'environ 50 % à environ 60 % d'un mélange d'époxy acrylate, d'agent de traitement thermique et de polymère conducteur; d'environ 20 % à environ 30 % d'un composant réactif lithographique; d'environ 10 % à environ 15 % d'un matériau photoactif; et d'environ 3 % à environ 5 % d'additifs renforçant la conductivité du polymère photolithographique conducteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)