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1. (WO2006028619) SYSTEME ET PROCEDE PERMETTANT D'OPTIMISER L'ACQUISITION DE DONNEES SUR UN PLASMA AU MOYEN D'UN MODULE DE COMMANDE A RETROACTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/028619    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/027476
Date de publication : 16.03.2006 Date de dépôt international : 02.08.2005
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : NORITSU KOKI CO., LTD. [JP/JP]; 579-1, Umehara, Wakayama, 640-8550 (JP) (Tous Sauf US).
AMARANTE TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 3550 Scott Blvd., Bldg. 16, Santa Clara, California 95054 (US) (Tous Sauf US).
LEE, Sang, Hun [US/US]; (US) (US Seulement).
KIM, Jay, Joongsoo [KR/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LEE, Sang, Hun; (US).
KIM, Jay, Joongsoo; (US)
Mandataire : PARK, Chung; Buchanan Ingersoll PC, P. O. Box 1404, Alexandria, Virginia 22313-1404 (US)
Données relatives à la priorité :
10/935,743 08.09.2004 US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR OPTIMIZING DATA ACQUISITION OF PLASMA USING A FEEDBACK CONTROL MODULE
(FR) SYSTEME ET PROCEDE PERMETTANT D'OPTIMISER L'ACQUISITION DE DONNEES SUR UN PLASMA AU MOYEN D'UN MODULE DE COMMANDE A RETROACTION
Abrégé : front page image
(EN)Method, systems and computer readable media for optimizing data acquisition of microwave plasma are disclosed. The present invention provides a method that includes the steps of selecting an operational condition for a plasma generation system, operating the plasma generating system under the selected operational condition, determining whether a stable plasma is established using a sensing device and acquiring/storing plasma data if the stable plasma is established. The method further includes a step of repeating data acquisition under various operational conditions to establish a database for plasma characterization. The present invention further provides a feedback control module (44) that operates in conjunction with a plasma generating system (10) to automate and optimize the process of data acquisition.
(FR)Procédé, systèmes et supports lisibles par ordinateur permettant d'optimiser l'acquisition de données sur un plasma généré par micro-ondes. L'invention concerne un procédé consistant: à sélectionner un Etat opérationnel pour le système de génération de plasma; à utiliser le système de génération de plasma selon l'état opérationnel sélectionné; à déterminer si un plasma stable est obtenu au moyen d'un dispositif détecteur; et, si oui, acquérir/stocker des données sur le plasma. Ce procédé consiste en outre: à répéter la procédure d'acquisition selon divers états opérationnels en vue de l'établissement d'une base de données pour caractérisation du plasma. Par ailleurs, cette invention concerne un module de commande à rétroaction (44) qui, conjointement avec le système de génération de plasma (10), permet d'automatiser et d'optimiser le processus d'acquisition de données.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)