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1. (WO2006026886) SYSTEME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/026886    N° de la demande internationale :    PCT/CH2005/000534
Date de publication : 16.03.2006 Date de dépôt international : 07.09.2005
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : OC OERLIKON BALZERS AG [LI/LI]; LI-9496 Balzers, Liechtenstein (LI) (Tous Sauf US).
ROHRMANN, Hartmut [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
RATTUNDE, Oliver [DE/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : ROHRMANN, Hartmut; (DE).
RATTUNDE, Oliver; (CH)
Représentant
commun :
OC OERLIKON BALZERS AG; Patent Department SRLP, P.O. Box 1000, LI-9496 Balzers, Liechtenstein (LI)
Données relatives à la priorité :
60/609,207 10.09.2004 US
Titre (EN) SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
(FR) SYSTEME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)In a substrate processing system for the treatment of substrates in vacuum two linear assemblies of process modules are stacked one above the other and connected by at least one lift module allowing for the transport from the first set to the second set. Along the travelling path through the first and second set of process modules there is arranged a linear synchronous motor. A substrate carrier with rails interacting with rollers mounted in the processing system is being held by the attractive forces of said linear synchronous motor in vertical position.
(FR)Dans un système de traitement de substrat pour le traitement de substrats à vide, deux ensembles linéaires de modules de traitement sont empilés l'un sur l'autre et reliés au moyen d'au moins un module d'élévation permettant le transport du premier ensemble vers le second ensemble. Un moteur synchrone linéaire est disposé le long du trajet qui s'étend à travers le premier et le second ensemble des modules de traitement. Un transporteur de substrat équipé de rails qui interagissent avec des rouleaux montés dans le système de traitement est maintenu au moyen des forces d'attraction du moteur synchrone linéaire en position verticale.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)