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1. (WO2006023297) PROCÉDÉ ET COMPOSITION POUR CONSTITUER UNE COUCHE AUX CARACTÉRISTIQUES UNIFORMES D’ATTAQUE CHIMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2006/023297    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/027933
Date de publication : 02.03.2006 Date de dépôt international : 05.08.2005
CIB :
B05D 1/40 (2006.01), B05D 3/12 (2006.01), C08F 118/00 (2006.01)
Déposants : MOLECULAR IMPRINTS, INC. [US/US]; 1807 West Braker Ln, Bldg. C-100, Austin, Texas 78758-3605 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : XU, Frank Y.; (US).
STACEY, Nicholas A.; (US)
Mandataire : BROOKS, Kenneth C.; P.O. Box 81536, Austin, Texas 78708-1536 (US)
Données relatives à la priorité :
10/919,224 16.08.2004 US
10/919,062 16.08.2004 US
Titre (EN) METHOD AND COMPOSITION TO PROVIDE A LAYER WITH UNIFORM ETCH CHARACTERISTICS
(FR) PROCÉDÉ ET COMPOSITION POUR CONSTITUER UNE COUCHE AUX CARACTÉRISTIQUES UNIFORMES D’ATTAQUE CHIMIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention includes a method and a composition to form a layer on a substrate having uniform etch characteristics. To that end, the method includes depositing a polymerizable liquid on the substrate as a composition of a plurality of components. Each of the components has a rate of evaporation associated therewith. The polymerizable composition is then solidified. A relative rate of evaporation associated with a subset of the plurality of components is established to be within a predetermined range. Specifically, the present invention is based upon the discovery that etch non-uniformity in a layer that is formed by solidification of a deposited liquid is a function of the relative rates of evaporation of the components that form the layer. As a result, the composition is formed of a plurality of components, a subset of which has a substantially identical rate of evaporation for an interval of time.
(FR)La présente invention porte sur un procédé et une composition pour constituer une couche aux caractéristiques uniformes d’attaque chimique sur un substrat. A cette fin, le procédé consiste à déposer un liquide polymérisable sur le substrat comme composition d’une pluralité de composants. Chacun des composants a une vitesse d’évaporation associée à celui-ci. La composition polymérisable est ensuite solidifiée. Une vitesse relative d’évaporation associée à un sous-ensemble de la pluralité de composants est établie dans une fourchette prédéterminée. Spécifiquement, la présente invention repose sur la découverte que le manque d’uniformité d’attaque chimique dans une couche formée par solidification d’un liquide déposé est fonction des vitesses relatives d’évaporation des composants constituant la couche. En conséquence, la composition est formée d’une pluralité de composants, dont un sous-ensemble a une vitesse d’évaporation sensiblement identique pendant un intervalle de temps.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)