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1. (WO2006022946) TECHNIQUE D'EVALUATION DES CARACTERISTIQUES ELECTRIQUES LOCALES DANS DES DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2006/022946    International Application No.:    PCT/US2005/018357
Publication Date: 2 mars 2006 International Filing Date: 25 mai 2005
IPC: H01L 23/544
Applicants: ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
WIRBELEIT, Frank
BURBACH, Gert
WIECZOREK, Karsten
HORSTMANN, Manfred
Inventors: WIRBELEIT, Frank
BURBACH, Gert
WIECZOREK, Karsten
HORSTMANN, Manfred
Title: TECHNIQUE D'EVALUATION DES CARACTERISTIQUES ELECTRIQUES LOCALES DANS DES DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
La présente invention concerne une structure d'essai (100) comportant une pluralité de plages d'essai (104) qui permet de déterminer de manière extrêmement efficace le comportement anisotrope de caractéristiques électriques influencées par la contrainte et la déformation, telles que la mobilité des électrons. De plus, les plages d'essai (104) peuvent permettre la détection de modifications induites par la contrainte et la déformation avec une résolution spatiale de l'ordre de grandeur d'éléments de circuit individuels.