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1. (WO2006022328) EQUIPEMENT DE FORMATION D’UNE PELLICULE ET PROCEDE DE FORMATION D’UNE PELLICULE

Pub. No.:    WO/2006/022328    International Application No.:    PCT/JP2005/015436
Publication Date: 2 mars 2006 International Filing Date: 25 août 2005
IPC: C23C 16/458
H01L 21/285
H01L 21/28
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
HANDA, Tatsuya
半田 達也
AIBA, Yasushi
饗場 康
Inventors: HANDA, Tatsuya
半田 達也
AIBA, Yasushi
饗場 康
Title: EQUIPEMENT DE FORMATION D’UNE PELLICULE ET PROCEDE DE FORMATION D’UNE PELLICULE
Abstract:
L’invention concerne un équipement de formation d’une pellicule (20), comportant une enceinte de traitement (22), un système d’alimentation en gaz pour alimenter l’enceinte en un gaz de traitement contenant un gaz de formation d’une pellicule, et un système d’évacuation pour évacuer l’atmosphère dans l’enceinte. Une table de positionnement (46) comportant un plan de positionnement pour positionner un corps en forme de plaquette plate à traiter (W) est disposée dans l’enceinte de traitement. Le corps à traiter sur la table de positionnement est chauffé par un élément chauffant (80). Un appareil de serrage (56) vient buter sur / s’écarte d’une partie périphérique de surface du corps à traiter, de manière à comprimer / libérer le corps à traiter sur / de la table de positionnement. Une structure d’aspiration (92) comportant une partie en retrait (94) est formée sur le plan de positionnement de la table de positionnement pour aspirer momentanément le corps à traiter par différence de pression, en formant un espace sensiblement hermétique entre le plan de positionnement et le plan arrière du corps à traiter.