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1. (WO2006017163) FOUR DE TRAITEMENT SEMI-TOROIDAL POLYVALENT A ECHANGE DE PLAQUETTE AUTOMATIQUE ET RECONFIGURABLE

Pub. No.:    WO/2006/017163    International Application No.:    PCT/US2005/024237
Publication Date: Fri Feb 17 00:59:59 CET 2006 International Filing Date: Sun Jul 10 01:59:59 CEST 2005
IPC: F26B 19/00
F27D 11/00
Applicants: DIAMOND SEMICONDUCTOR, INC.
BAYNE, Christopher, J.
Inventors: BAYNE, Christopher, J.
Title: FOUR DE TRAITEMENT SEMI-TOROIDAL POLYVALENT A ECHANGE DE PLAQUETTE AUTOMATIQUE ET RECONFIGURABLE
Abstract:
L'invention concerne un four conforme entièrement automatique, ayant les avantages du four horizontal et la plupart des avantages du four vertical. Selon une variante, on décrit un bras de robot à mouvement sur plusieurs degrés pour le déplacement de plaquettes depuis une zone de chargement vers un poste de passage temporaire en cours de production (WIP), où la plaquette est ensuite chargée dans des porte-plaquettes sur un système en porte-à-faux rotatif ou directement sur un support de plaquettes spécialisé et reconfigurable. On peut charger les plaquettes en position de traitement horizontale et en position de traitement verticale. Les niveaux multiples des processeurs horizontaux semi-toroïdaux permettent le chargement, le traitement, le refroidissement et le déchargement de plusieurs lots de plaquettes, via le bras de robot. On réduit ainsi l'empreinte des fours horizontaux et verticaux classiques, en augmentant la capacité et le débit, et en permettant un transfert de tube direct.