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1. (WO2005091687) GÉNÉRATEUR D'INJECTION MINI PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/091687    N° de la demande internationale :    PCT/JP2004/010388
Date de publication : 29.09.2005 Date de dépôt international : 22.07.2004
CIB :
C23C 16/513 (2006.01), G01N 37/00 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H05H 1/24 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01), H05K 3/08 (2006.01)
Déposants : JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY [JP/JP]; 1-8, Honcho 4-chome Kawaguchi-shi, Saitama 3320012 (JP) (Tous Sauf US).
ICHIKI, Takanori [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ICHIKI, Takanori; (JP)
Mandataire : HONDA, Ichiro; No.201, Kanda Chuo Building 2F 5-7, Nishikanda 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010065 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-076940 17.03.2004 JP
Titre (EN) MICRO PLASMA JET GENERATOR
(FR) GÉNÉRATEUR D'INJECTION MINI PLASMA
(JA) マイクロプラズマジェット発生装置
Abrégé : front page image
(EN)A micro plasma jet generator in which a stabilized micro plasma jet can be generated well with a low power in a micro space under atmospheric pressure. The micro plasma jet generator being driven by a high frequency power supply in VHF band for generating a micro inductively-coupled plasma jet comprises a substrate, a micro antenna arranged on the substrate, and a discharge tube disposed in the vicinity of the micro antenna wherein the micro antenna has a flat meandering shape with a plurality of turns.
(FR)Un générateur d'injection mini plasma dans lequel une injection stabilisée de micro plasma peut être bien générée avec une faible puissance dans un mini espace à l’atmosphérique pression. Le générateur d'injection mini plasma étant alimenté par une alimentation électrique haute fréquence dans la bande VHF pour générer une injection de mini plasma reliée par couplage inductif comprend un substrat, un mini antenne disposée sur le substrat, et un tube à décharge disposé à proximité de la mini antenne laquelle a une forme plate enroulée avec de nombreux tours.
(JA) 大気圧にて微小空間での安定したマイクロプラズマジェットを小電力で良好に生成させることのできるマイクロプラズマジェット発生装置を提供する。  VHF帯の高周波電源により駆動されるマイクロ誘導結合プラズマジェットを生成するマイクロプラズマジェット発生装置において、基板と、基板上に配設されたマイクロアンテナと、マイクロアンテナの近傍に設置された放電管とを備え、マイクロアンテナが平板状に複数巻の波状形態を有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)