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1. (WO2005091356) MANDRIN ELECTROSTATIQUE BIPOLAIRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/091356    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/004557
Date de publication : 29.09.2005 Date de dépôt international : 15.03.2005
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.01.2006    
CIB :
H01L 21/68 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
Déposants : CREATIVE TECHNOLOGY CORPORATION [JP/JP]; Koujimachi YK Bldg 5F, 1-8-14, Koujimachi, Chiyoda-ku, Tokyo 1020083 (JP) (Tous Sauf US).
FUJISAWA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIYASHITA, Kinya [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJISAWA, Hiroshi; (JP).
MIYASHITA, Kinya; (JP)
Mandataire : NARUSE, Katsuo; 5th Floor, TKK Nishishinbashi Bldg., 11-5, Nishi-shinbashi 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-081432 19.03.2004 JP
2004-191280 29.06.2004 JP
Titre (EN) BIPOLAR ELECTROSTATIC CHUCK
(FR) MANDRIN ELECTROSTATIQUE BIPOLAIRE
(JA) 双極型静電チャック
Abrégé : front page image
(EN)A bipolar electrostatic chuck which has excellent dielectric breakdown strength and provides excellent attracting performance. The bipolar electrostatic chuck eliminates difficulty in peeling off a sample from a sample attracting plane as much as possible after application of a voltage to electrodes is finished. The bipolar electrostatic chuck is provided with a first electrode and a second electrode in an insulator and permits a surface of the insulator to be the sample attracting plane. The insulator has the first electrode, an interelectrode insulating layer and the second electrode in this order from the sample attracting plane in the depth direction. The second electrode has a region not overlapping with the first electrode in a normal line direction of the sample attracting plane.
(FR)Un mandrin électrostatique bipolaire avec une excellente force de rupture diélectrique et qui fournit une excellente performance d'attraction. Le mandrin électrostatique bipolaire élimine la difficulté à délaminer un échantillon d'un plan d'attraction d'échantillon autant que possible après que l'application d'une tension sur des électrodes soit terminée. Le mandrin électrostatique bipolaire est fourni avec une première électrode et une seconde électrode dans un isolateur et permet à une surface d'isolateur d'être le plan d'attraction d'échantillon. L'isolateur a la première électrode, une couche isolante interélectrode et la seconde électrode dans cet ordre depuis le plan d'attraction d'échantillon dans la direction de la profondeur. La seconde électrode a une région ne recouvrant pas la première électrode dans une direction de ligne normale du plan d'attraction d'échantillon.
(JA) 絶縁耐性に優れ、かつ、優れた吸着力を発揮する双極型静電チャックを提供する。また、電極への電圧の印加を終えた後、試料吸着面からの試料のはがし取りにくさを可及的に解消できる双極型静電チャックを提供する。  絶縁体の内部に第一電極と第二電極とを備えてこの絶縁体の表面を試料吸着面とする双極型の静電チャックであり、上記絶縁体がその深さ方向に試料吸着面から近い順に第一電極、電極間絶縁層、及び第二電極を有し、この第二電極が試料吸着面の法線方向に第一電極に対して非重畳領域を有する双極型静電チャックである。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)