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1. (WO2005091329) DISPOSITIF DE PULVERISATION CATHODIQUE POUR REALISER DES FILMS MINCES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/091329    N° de la demande internationale :    PCT/CH2005/000165
Date de publication : 29.09.2005 Date de dépôt international : 21.03.2005
CIB :
C23C 14/34 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT [LI/LI]; FL-9496 Balzers (LI) (Tous Sauf US).
ROHRMANN, Hartmut [DE/CH]; (CH) (US Seulement).
BAUMANN, Jens [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : ROHRMANN, Hartmut; (CH).
BAUMANN, Jens; (DE)
Mandataire : TROESCH, Jacques, J.; Troesch Scheidegger Werner AG, Schwäntenmos 14, CH-8126 Zumikon (CH)
Données relatives à la priorité :
60/555,101 22.03.2004 US
Titre (EN) SPUTTERING DEVICE FOR MANUFACTURING THIN FILMS
(FR) DISPOSITIF DE PULVERISATION CATHODIQUE POUR REALISER DES FILMS MINCES
Abrégé : front page image
(EN)A sputtering station for depositing a thin film on a substrate (20) includes a cathode comprising two targets (12A, 12B) placed opposite each other defining a plasma region (22), permanent magnets or coils (26) to generate a magnetic field, yokes (24) to direct the magnetic field and two independent power supplies connected to each target to independently control the energy to each target.
(FR)La présente invention concerne une station de pulvérisation cathodique qui sert à déposer un film mince sur un substrat, ladite station comprenant une cathode qui comprend deux cibles placées à l'opposé l'une de l'autre en définissant un zone de plasma, des aimants permanents ou des bobines qui servent à produire un champ magnétique, des culasses qui servent à diriger le champ magnétique, et deux alimentations électriques indépendantes connectées à chaque cible pour commander indépendamment l'énergie qui alimente chaque cible.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)