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1. (WO2005091283) PROCEDE ET APPAREIL DE SEPARATION DE SUBSTRATS EN FORME DE DISQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/091283    N° de la demande internationale :    PCT/CH2005/000162
Date de publication : 29.09.2005 Date de dépôt international : 18.03.2005
CIB :
G11B 7/26 (2006.01)
Déposants : OC OERLIKON BALZERS AG [LI/LI]; FL-9496 Balzers (LI) (Tous Sauf US).
HEINZ, Bernd [DE/CH]; (CH) (US Seulement).
KRATZER, Martin [DE/AT]; (AT) (US Seulement)
Inventeurs : HEINZ, Bernd; (CH).
KRATZER, Martin; (AT)
Représentant
commun :
OC OERLIKON BALZERS AG; Patent Department SRLP, P.O. Box 1000, FL-9496 Balzers (LI)
Données relatives à la priorité :
60/555,106 22.03.2004 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR SEPARATING DISC-SHAPED SUBSTRATES
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE SEPARATION DE SUBSTRATS EN FORME DE DISQUES
Abrégé : front page image
(EN)A method for separating bonded substrates and a respective apparatus used for that method is disclosed. The method comprises positioning the bonded substrates (1) in an evacuable chamber (2) by respective means, detaching a space (10) from that evacuable chamber by means of a sealing arrangement (4) so that said space comprises a partial area of the substrates with at least one gap (5) between the bonded substrates (1), lowering the pressure in the vacuum chamber (2) while maintaining the pressure in the space (10), thereby causing the bonded substrates to separate.
(FR)L'invention concerne un procédé de séparation de substrats liés et un appareil correspondant permettant la mise en oeuvre de ce procédé. Ce procédé consiste à positionner les substrats liés (1) dans une chambre (2) pouvant être mise sous vide par un moyen correspondant ; à détacher un espace (10) de cette chambre à vide à l'aide d'un système de scellement (4) de telle manière que cet espace comporte une zone partielle des substrats avec au moins un interstice (5) entre les substrats (1) liés ; à réduire la pression dans la chambre à vide (2) tout en maintenant la pression dans l'espace (10), ce qui entraîne la séparation des substrats liés.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)