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1. (WO2005090940) DISPOSITIF ET PROCEDE DE PREPARATION PAR VOIE CHIMIQUE HUMIDE DE SURFACES DE CORPS SOLIDES DE PURETE ELEVEE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/090940    N° de la demande internationale :    PCT/DE2005/000493
Date de publication : 29.09.2005 Date de dépôt international : 15.03.2005
CIB :
G01N 1/32 (2006.01), G01N 23/22 (2006.01), H01J 37/18 (2006.01)
Déposants : HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH [DE/DE]; Glienicker Strasse 100, 14109 Berlin (DE) (Tous Sauf US).
ERNSTORFER, Ralph [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HANNAPEL, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KUBALA, Sven [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
WILLIG, Frank [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : ERNSTORFER, Ralph; (DE).
HANNAPEL, Thomas; (DE).
KUBALA, Sven; (DE).
WILLIG, Frank; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2004 014 430.3 19.03.2004 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR NASSCHEMISCHEN PRÄPARATION VON HOCHREINEN FESTKÖRPEROBERFLÄCHEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR THE WET-CHEMICAL PREPARATION OF HIGHLY PURE SOLID BODY SURFACES
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE PREPARATION PAR VOIE CHIMIQUE HUMIDE DE SURFACES DE CORPS SOLIDES DE PURETE ELEVEE
Abrégé : front page image
(DE)Bekannt ist eine Präparationskammer, in der Festkörperoberflächen mit Flüssigkeiten in Kontakt gebracht oder elektrochemisch präpariert werden können. Diese Präparationskammer wurde mit einer UHV­Kammer für Photoelektronenspektroskopie kombiniert, womit sich Änderungen der Oberflächeneigenschaften beobachten lassen. Präparation und Analyse finden dabei sequentiell statt. Aufgabe ist eine Vorrichtung und ein Verfahren zur kontaminationsfreien nasschemischen Präparation von hochreinen Festkörperoberflächen und in-situ-Charakterisierung mit oberflächensensitiven oder kurzzeitspektroskopischen Methoden, die es ermöglichen, physikalische Prozesse an einer Probe in verschiedenen Umgebungen (Vakuum, Gas, Flüssigkeit) optisch zu untersuchen. Die Vorrichtung weist eine mit gereinigtem Gas über einen Gaseinlass (5) mit Ventil flutbare Hauptkammer (1) als Präparations- und Messraum, einen Probenmanipulator (13) mit einem Probenhalter (9), eine in der Hauptkammer (1) befüll- und verschiebbare Küvette (12) mit einem Flüssigkeitsauslass (11) und eine Turbopumpe (15) auf. Die Hauptkammer (1) ist zum Einschleusen von Proben aus einer separaten UHV-Kammer oder der Raumatmosphäre über ein UHV-Ventil (7c) mit einer UHV-Schleusenkammer (4) verbunden. Die Vorrichtung ist zur kontaminationsfreien nasschemischen Präparation von hochreinen, insbesondere vakuumpräparierten Festkörperoberflächen und in-situ-Charakterisierung mit oberflächensensitiven, z.B. Reflexions-Anisotropie-Spektroskopie, oder kurzzeitspektroskopischen Methoden, z.B. Pump-Probe-Spektroskopie mit Femtosekunden-Zeitauflösung geeignet.
(EN)The invention relates to a preparation chamber, in which solid body surfaces are brought into contact with liquids or can be electrochemically prepared. Said preparation chamber has previously been combined with a UHV chamber for photoelectron spectroscopy, to permit modifications in the surface characteristics to be observed. The preparation and analysis take place sequentially. The aim of the invention is to provide a device and a method for the wet-chemical preparation of highly pure solid body surfaces without contamination and for in-situ characterisation using surface-sensitive or short-term spectroscopic methods, which permit physical processes that are carried out on a sample to be optically analysed in various environments (vacuum, gas, liquid). The inventive device comprises: a main chamber (1), which functions as a preparation and measuring chamber and can be flooded with purified gas via a gas inlet (5) comprising a valve; a sample manipulator (13) comprising a sample holder (9); a cuvette (12), which can be filled and displaced in the main chamber (1) and which comprises a liquid outlet (11) and a turbopump (15). The main chamber (1) is connected to a UHV sluice chamber (4) for introducing samples from a separate UHV chamber or the ambient atmosphere via a UHV valve (7c). The device is suitable for the wet-chemical preparation of highly pure, in particular, vacuum-prepared solid body surfaces without contamination and for in-situ characterisation using surface-sensitive spectroscopic methods, e.g. reflection anisotropic spectroscopy, or short-term spectroscopic methods, e.g. pump-sample spectroscopy comprising femtosecond time resolution.
(FR)On trouve dans l'état de la technique une chambre de préparation dans laquelle des surfaces de corps solides peuvent être mises en contact avec des liquides et préparées par voie électrochimique. Cette chambre de préparation a été combinée à une chambre UHV pour spectroscopie à photoélectrons, ce qui permet l'observation de modifications des propriétés de surface. La préparation et l'analyse sont réalisées de façon séquentielle. L'invention a pour objet un dispositif et un procédé pour réaliser la préparation par voie chimique humide, sans contamination, de surfaces de corps solides de pureté élevée, et la caractérisation in situ au moyen de méthodes de sensibilité de surface ou de spectroscopie à temps court qui permettent d'analyser optiquement des processus physiques sur un échantillon dans différents environnements (vide, gaz, liquide). Le dispositif présente une chambre principale qui sert de chambre de préparation et de mesure et qui peut être remplie d'un gaz purifié par une ouverture d'entrée de gaz (5) comportant un clapet, un dispositif de manipulation d'échantillon (13) avec porte-échantillon (9), une cuvette (12) qui peut être déplacée et peut être remplie dans la chambre principale (1) et comprend une sortie de liquide (11), et une pompe rotative (15). La chambre principale (1) est reliée à une chambre de transfert UHV (4) pour réaliser le transfert d'échantillons depuis une chambre UHV séparée ou l'atmosphère extérieure, par l'intermédiaire d'un clapet UHV (7c). Le dispositif convient à la préparation par voie chimique humide, sans contamination, de surfaces de corps solides de pureté élevée, notamment préparées dans le vide, et la caractérisation in situ de méthodes de sensibilité de surface, par ex. de spectroscopie à anisotropie de réflexion, ou de spectroscopie à temps court, par ex. de spectroscopie pompe-échantillon, avec résolution temporelle de l'ordre de la femtoseconde.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)