WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2005089955) Dispositif d'alimentation pour liquide chimique
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/089955    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/002553
Date de publication : 29.09.2005 Date de dépôt international : 18.02.2005
CIB :
B05C 5/00 (2006.01), B05C 11/10 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : KOGANEI CORPORATION [JP/JP]; 8-16, Iwamotocho 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010032 (JP) (Tous Sauf US).
YAJIMA, Takeo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAJIMA, Takeo; (JP)
Mandataire : TSUTSUI, Yamato; Tsutsui & Associates, 3F, Azeria Bldg. 1-1, Nishi-shinjuku 8-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-083942 23.03.2004 JP
Titre (EN) CHEMICAL LIQUID FEEDER
(FR) Dispositif d'alimentation pour liquide chimique
(JA) 薬液供給装置
Abrégé : front page image
(EN)A chemical liquid feeder, wherein, as shown in Fig. 3a, a primary valve (13) and a secondary valve (14) are fitted to a nozzle assembly (12) in which a jetting port (11) for jetting a chemical liquid is formed. The primary valve (13) is a valve for opening/closing a primary flow passage (14b) communicating with a connection port (18) opening to the outside, and the secondary valve (14) is a valve for opening/closing a secondary flow passage (13b) communicating with the jetting port (11). A pump is installed between the primary valve (13) and the secondary valve (14). A double tube (21) formed of an inner tube (19) for flowing the chemical liquid therein and an outer tube (20) for flowing a temperature-controlled water therein is connected to the connection port (18). The chemical liquid kept at a specified temperature is sucked into a pump chamber (52) and jetted from the jetting port (11).
(FR)Un dispositif d'alimentation pour liquide chimique, dans lequel, comme représenté sur la figure 3a, une vanne principale (13) et une vanne secondaire (14) sont adaptées à un assemblage de buses (12) dans lequel est formé un orifice d'éjection (11) destiné à éjecter le liquide chimique. Le vanne principale (13) est une vanne destinée à ouvrir ou à fermer un passage principal de circulation (14b) communiquant avec un orifice de raccordement (18) s'ouvrant vers l'extérieur, et la vanne secondaire (14) est une vanne destinée à ouvrir ou à fermer un passage secondaire de circulation (13b) communiquant avec l'orifice d'éjection (11). Une pompe est installée entre la vanne primaire (13) et la vanne secondaire (14). Un tube double (21) formé d'un tube intérieur (19) destiné à faire circuler le liquide chimique, et d'un tube extérieur (20) destiné à faire circuler de l'eau régulée en température, est raccordé à l'orifice de raccordement (18). Le liquide chimique, maintenu à une température spécifiée, est aspiré dans une chambre de pompage (52) et éjecté à partir de l'orifice d'éjection (11).
(JA) 図3に示されるように、薬液を吐出する噴射口11が形成されるノズル組立体12には、一次側バルブ13と二次側バルブ14とが組み付けられている。一次側バルブ13は噴射口11に連通する二次側流路14bを開閉するバルブであり、二次側バルブ14は外部に開口する接続ポート18に連通する一次側流路13bを開閉するバルブであり、一次側バルブ13と二次側バルブ14との間にはポンプが設けられている。接続ポート18には薬液が流れる内管19と温調水が流れる外管20とにより構成される二重管21が接続されており、一定の温度に保たれた薬液がポンプ室52内に吸引され噴射口11から吐出されるようになっている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)