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1. (WO2005089459) PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT D'AMELIORER LA STABILITE DES FAISCEAUX DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT PAR FAISCEAUX IONIQUES PAR GRAPPES GAZEUSES A COURANT ELEVE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/089459    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/009018
Date de publication : 29.09.2005 Date de dépôt international : 17.03.2005
CIB :
H01J 27/02 (2006.01)
Déposants : EPION CORPORATION [US/US]; 37 Manning Road, Billerica, MA 01821 (US)
Inventeurs : MACK, Michael, E.; (US).
BECKER, Robert, K.; (US).
GWINN, Matthew, C.; (US)
Mandataire : COHEN, Jerry; Burns & Levinson LLP, 125 Summer Street, Boston, MA 02110 (US)
Données relatives à la priorité :
60/553,757 17.03.2004 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR IMPROVED BEAM STABILITY IN HIGH CURRENT GAS-CLUSTER ION BEAM PROCESSING SYSTEM
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT D'AMELIORER LA STABILITE DES FAISCEAUX DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT PAR FAISCEAUX IONIQUES PAR GRAPPES GAZEUSES A COURANT ELEVE
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus and methods for improving beam stability in high current gas-cluster ion beam systems by reducing the frequency of transients occurring in the vicinity of the ionizer through use of shielding conductors and distinct component electrical biasing to inhibit backward extraction of ions from the ionizer towards the gas-jet generator.
(FR)La présente invention concerne un dispositif et des procédés permettant d'améliorer la stabilité des faisceaux dans des systèmes de traitement par faisceaux ioniques en grappes gazeuses à courant élevé par réduction de la fréquence des transitoires apparaissant dans le voisinage du ionisateur au moyen de conducteurs protecteurs et par polarisation de composants électriques distincts afin de bloquer l'extraction d'ions vers l'arrière depuis le ionisateur en direction du générateur de jets gazeux.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)