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1. (WO2005088763) DISTRIBUTEUR ET METHODE DE DISTRIBUTION, SYSTEME ET METHODE DE TRAITEMENT DE PLASMA, ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN ECRAN LCD
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/088763    N° de la demande internationale :    PCT/JP2004/003086
Date de publication : 22.09.2005 Date de dépôt international : 10.03.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    31.08.2004    
CIB :
H01P 5/12 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP).
GOTO, Naohisa [JP/JP]; (JP).
KUGA, Nobuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIROE, Akihiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OHMI, Tadahiro; (JP).
GOTO, Naohisa; (JP).
KUGA, Nobuhiro; (JP).
HIROE, Akihiko; (JP)
Mandataire : YAMAKAWA, Masaki; c/o Yamakawa International Patent Office Shuwa-Tameike Building, 8th Floor 4-2, Nagatacho 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-0014 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) DISTRIBUTOR AND DISTRIBUTING METHOD, PLASMA PROCESSING SYSTEM AND METHOD, AND PROCESS FOR FABRICATING LCD
(FR) DISTRIBUTEUR ET METHODE DE DISTRIBUTION, SYSTEME ET METHODE DE TRAITEMENT DE PLASMA, ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN ECRAN LCD
(JA) 分配器および方法、プラズマ処理装置および方法、並びに、LCDの製造方法
Abrégé : front page image
(EN)A distributor (30) comprising a square waveguide (31) being connected with a microwave oscillator (20), and a square waveguide (41) having a plurality of openings (43) made in a narrow wall (41B). The square waveguide (31) is hollow and a wave delaying member (53) having a dielectric constant ϵr is disposed in the square waveguide (41). Narrow walls (31A, 41A) of these two square waveguides (31, 41) are touched and a hole (32) for interconnecting both waveguides (31, 41) is made through the narrow walls (31A, 41A). Since the width of the waveguides (31, 41) does not become narrow at the joint thereof even if the interconnecting hole (32) is made narrow, frequency band capable of passing trough the joint is prevented from becoming narrower. Consequently, reflection loss is reduced when the frequency of an electromagnetic wave entering the distributor (30) is varied.
(FR)L'invention concerne un distributeur (30) comprenant un guide d'ondes carrées (31) relié à un oscillateur micro-ondes (20), et un guide d'ondes carrées (41) présentant une pluralité d'ouvertures (43) situées dans une paroi mince (41B). Le guide d'ondes carrées (31) est creux et un élément retardant les ondes (53) présentant une constante diélectrique $g(e)r est disposé dans le guide d'ondes (41). Les parois minces (31A, 41A) de ces guides d'ondes carrées (31, 41) sont en contact, et un orifice (32) destiné à interconnecter ces deux guides d'ondes traversent les parois minces (31A, 41A). Puisque la largeur des guides d'ondes (31, 41) ne s'amincit pas à leur joint, même si l'orifice d'interconnexion (32) est très mince, on empêche que la bande de fréquence pouvant passer par le joint ne devienne encore plus mince. Par conséquent, la perte de réflexion est réduite lorsque la fréquence d'une onde électromagnétique entrant dans le distributeur (30) varie.
(JA)分配器(30)は、マイクロ波発振器(20)に接続される方形導波管(31)と、狭壁(41B)に開口(43)が複数形成された方形導波管(41)とを有している。方形導波管(31)の管内は中空であり、方形導波管(41)の管内には、比誘電率εrの遅波材(53)が配置されている。これら2つの方形導波管(31,41)の狭壁(31A,41A)を接触させ、その狭壁(31A,41A)に両導波管(31,41)を連通させる連通孔(32)を形成する。これにより、たとえ連通孔(32)の幅を狭くしても、両導波管(31,41)の接続部において管幅は狭くならないので、接続部を通過可能な周波数帯域の狭帯域化が抑制される。その結果、分配器(30)に入力される電磁波の周波数が変動したときに生じる反射損失が小さくなる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)