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1. (WO2005088241) PROCEDE INTERFEROMETRIQUE A FAIBLE COHERENCE, ET APPAREIL DE BALAYAGE OPTIQUE DE SURFACES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/088241    N° de la demande internationale :    PCT/DE2005/000417
Date de publication : 22.09.2005 Date de dépôt international : 10.03.2005
CIB :
A61B 5/00 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01), G01N 21/47 (2006.01)
Déposants : KNÜTTEL, Alexander [DE/DE]; (DE)
Inventeurs : KNÜTTEL, Alexander; (DE)
Mandataire : PFEIFER, Hans-Peter; Beiertheimer Allee 19, 76137 Karlsruhe (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2004 012 426.4 13.03.2004 DE
Titre (DE) NIEDERKOHÄRENZ-INTERFEROMETRISCHES VERFAHREN UND GERÄT ZUR LICHTOPTISCHEN ABTASTUNG VON OBERFLÄCHEN
(EN) LOW-COHERENCE INTERFEROMETRIC METHOD AND APPLIANCE FOR SCANNING SURFACES IN A LIGHT-OPTICAL MANNER
(FR) PROCEDE INTERFEROMETRIQUE A FAIBLE COHERENCE, ET APPAREIL DE BALAYAGE OPTIQUE DE SURFACES
Abrégé : front page image
(DE)Beschrieben wird ein Niederkohärenz-interferometrisches Gerät zur lichtoptischen Abtastung einer Oberfläche (19) eines Objektes, insbesondere einer konkaven Oberfläche (19), beispielsweise eines Bohrlochs, mit einem Kurzkohärenz-Interferometer, das eine kurzkohärente Meßlichtquelle (30), einen das von ihr ausgehende Licht auf einen Meßlichtstrahl (23) und einen Referenzlichtstrahl (22) aufteilenden Strahlteiler (13), einen Referenzreflektor (16), eine Meßoptik (17) und einen Detektor (35) umfaßt, dem der reflektierte Meßlichtstrahl (23) und der Referenzlichtstrahl (22) zum Erfassen eines Niederkohärenz-Interferenzsignals zugeführt werden. Der Meßlichtstrahl (23) wird von der Meßoptik (17), die eine numerische Apertur von nicht mehr als 0,3 hat, in einen sich in eine Abtastrichtung erstreckenden Fokusbereich (27) fokussiert, innerhalb welchem eine Steuer- und Auswerteeinheit (6) eine Abtastposition um einen Referenzpunkt variiert und eine dabei auftretende Übereinstimmung der Abtastposition mit der Oberfläche (19) registriert, um eine Abstandsinformation über einen Abstand des Referenzpunktes von der Oberfläche (19) des Objektes zu gewinnen. Aus der Abstandsinformation und der Position des Referenzpunktes wird eine Ortsinformation über eine lichtreflektierende Stelle der Oberfläche (19) ermittelt.
(EN)The invention relates to a low-coherence interferometric appliance for scanning a surface (19) of an object in a light-optical manner, especially a concave surface (19), for example a borehole, using a short-coherence interferometer comprising a short-coherence measuring light source (30), a beam splitter (13) for splitting the light emitted by said source into a measuring light beam (23) and a reference light beam (22), a reference reflector (16), a measuring optical element (17), and a detector (35), to which the reflected measuring light beam (23) and the reference light beam (22) are supplied in order to detect a low-coherence interference signal. The measuring light beam (23) is focussed in a focal region (27) extending in a scanning direction, by a measuring optical element (17) having a maximum digital aperture of 0.3, a control and evaluation unit (6) varying a scanning position by a reference point inside said focal region, and registering the correspondence between the scanning position and the surface (19), in order to obtain information about the distance between the reference point and the surface (19) of the object. Location information about a light-reflecting position of the surface (19) is determined from the distance information and the position of the reference point.
(FR)L'invention concerne un appareil interférométrique à faible cohérence pour l'exploration optique d'une surface (19) d'un objet, en particulier d'une surface concave (19), par exemple un trou de perçage, appareil comprenant : un interféromètre à courte cohérence (30) présentant une source de lumière de mesure à courte cohérence (30), un séparateur de faisceau (13) répartissant la lumière émise par cette source, en un faisceau de lumière de mesure (23) et un faisceau de lumière de référence (22), un réflecteur de référence (16), une optique de mesure (17) et un détecteur (35), auquel sont envoyés le faisceau de lumière de mesure réfléchi (23) et le faisceau de lumière de référence (22) pour la détection d'un signal d'interférence de faible cohérence. Le faisceau de lumière de mesure (23) est focalisé, au moyen de l'optique de mesure (17) qui présente une ouverture numérique non supérieure à 0,3, dans une zone de focalisation (27) s'étendant dans une direction d'exploration, et à l'intérieur de laquelle on peut faire varier la position d'exploration, au moyen d'une unité de commande et d'évaluation (6) autour d'un point de référence, et enregistrer la correspondance de la position d'exploration avec la surface (19), afin d'obtenir une information relative à la distance du point de référence par rapport à la surface (19) de l'objet. A partir de l'information de distance et de la position du point de référence, on détermine une information de localisation relative au point de réflexion de la lumière sur la surface (19).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)