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1. (WO2005087970) APPAREIL DE DEPOT SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/087970    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/003174
Date de publication : 22.09.2005 Date de dépôt international : 25.02.2005
CIB :
C23C 14/24 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543 (JP) (Tous Sauf US).
TANAKA, Hisato [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TANAKA, Hisato; (JP)
Mandataire : IISAKA, Yasuo; Utoku-Building 6-85, Benten-dori Naka-ku, Yokohama-shi Kanagawa 231-0007 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-070993 12.03.2004 JP
Titre (EN) VACUUM DEPOSITION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE DEPOT SOUS VIDE
(JA) 真空蒸着装置
Abrégé : front page image
(EN)A vacuum deposition apparatus having an evaporation source drive mechanism capable of reducing the occurrence of particles in a vacuum chamber and coping with the arrangement of multiple evaporation sources. The vacuum deposition apparatus comprises a hollow shaft (5) closed at one end (5a) and opening at the other end (5b) and a moving mechanism inserting the closed end (5a) of the hollow shaft (5) to the inside (2) of the vacuum chamber and moving the hollow shaft (5) in the axial direction. The evaporation source (4) is fitted to the closed end (5a) side of the hollow shaft (5) and allows a supply system (7) for power and cooling water led into the evaporation source (4) to be provided through the inside of the hollow shaft (5), and the moving mechanism is installed on the outside of the vacuum chamber.
(FR)Appareil de dépôt sous vide comportant un mécanisme d’entraînement de source d’évaporation capable de réduire l’apparition de particules dans une chambre à vide et de s’adapter à la mise en place de sources d’évaporation multiples. L’appareil de dépôt sous vide comprend un arbre creux (5) fermé à une extrémité (5a) et ouvert à l’autre extrémité (5b) et un mécanisme de déplacement insérant l’extrémité fermée (5a) de l’arbre creux (5) à l’intérieur (2) de la chambre à vide et déplaçant l’arbre creux (5) dans la direction axiale. La source d’évaporation est montée sur l’extrémité fermée (5a) de l’arbre creux (5) et permet le passage d’un système d’alimentation (7) en énergie et en eau de refroidissement amené dans la source d’évaporation (4) à travers l’intérieur de l’arbre creux (5), et le mécanisme de déplacement est installé sur l’extérieur de la chambre à vide.
(JA)チャンバ内におけるパーティクルの発生を低減でき、蒸発源の複数配置にも対応することができる蒸発源駆動機構を備えた真空蒸着装置を提供する。  一端5aが閉塞し他端5bが開放する中空軸5と、この中空軸5の閉塞端5aを真空チャンバの内部2に挿通し中空軸5を軸方向に移動させる移動機構とを有し、蒸発源4は、中空軸5の閉塞端5a側に取り付けられ、蒸発源4に導入される電力及び冷却水の供給系統7を中空軸5の内部を介して供給すると共に、移動機構は、真空チャンバの外部に設ける。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)