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1. (WO2005087632) EQUIPEMENT DE TRANSFERT DE SUBSTRAT ET SYSTEME DE TRANSFERT DE SUBSTRAT DOTE DE L’EQUIPEMENT DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/087632    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/003172
Date de publication : 22.09.2005 Date de dépôt international : 25.02.2005
CIB :
B65G 49/06 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01), H05B 33/14 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
TANAKA, Hisato [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TANAKA, Hisato; (JP)
Mandataire : IISAKA, Yasuo; Utoku-building 6-85, Benten-dori, Naka-ku Yokohama-shi, Kanagawa 2310007 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-068845 11.03.2004 JP
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSFER EQUIPMENT AND SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM PROVIDED WITH THE SUBSTRATE TRANSFER EQUIPMENT
(FR) EQUIPEMENT DE TRANSFERT DE SUBSTRAT ET SYSTEME DE TRANSFERT DE SUBSTRAT DOTE DE L’EQUIPEMENT DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置及びこれを備えた基板搬送システム
Abrégé : front page image
(EN)Substrate transfer equipment and a substrate transfer system provided with the equipment, for improving workability and productivity. The substrate transfer equipment (1) is provided with an airtight container (3) which has a cassette (2) inside for storing a plurality of substrates in a height direction, and a valve (6), which opens and closes an opening (5) for transferring the substrate between the cassette (2) formed in the airtight container (3) and substrate processing equipment (15). The substrate processing equipment (15) is provided with a valve opening and closing mechanism (19) including a drive source (21) for opening and closing the valve (6), and a cassette lifting mechanism (20) including a drive source (22) for moving up and down the cassette (2). The valve (6) and the cassette (2) are driven through the valve opening and closing mechanism (19) and the cassette lifting mechanism (20) by connecting the substrate transfer equipment (1) with the substrate processing equipment (15).
(FR)Equipement de transfert de substrat et système de transfert de substrat doté de l’équipement, pour améliorer la manoeuvrabilité et la productivité. L’équipement de transfert de substrat (1) est doté d’une enceinte étanche à l’air (3) contenant une cassette (2) pour stocker une pluralité de substrats dans le sens de la hauteur, et une valve (6) qui ouvre et ferme une ouverture (5) pour transférer le substrat entre la cassette (2) formée dans l’enceinte étanche à l’air (3) et un équipement de traitement de substrat (15). L’équipement de traitement de substrat (15) est pourvu d’un mécanisme d’ouverture et de fermeture de valve (19) comportant une source d’entraînement (21) pour ouvrir et fermer la valve (6) et d’un mécanisme de levage de cassette (20) comportant une source d’entraînement pour faire monter et descendre la cassette (2). La valve (6) et la cassette (2) sont entraînées à travers le mécanisme d’ouverture et de fermeture de valve (19) et le mécanisme de levage de cassette (20) en reliant l’équipement de transfert de substrat (1) à l’équipement de traitement de substrat (15).
(JA) 作業性及び生産性の向上を図ることができる基板搬送装置及びこれを備えた基板搬送システムを提供する。   基板搬送装置(1)は、基板を高さ方向に複数収納できるカセット(2)を内部に有する密閉容器(3)と、この密閉容器(3)に形成されカセット(2)と基板処理装置(15)との間で基板の受け渡しを行う開口(5)を開閉するバルブ(6)とを備えていると共に、基板処理装置(15)は、バルブ(6)を開閉する駆動源(21)を含むバルブ開閉機構(19)と、カセット(2)を昇降させる駆動源(22)を含むカセット昇降機構(20)とを備えており、基板搬送装置(1)は、基板処理装置(15)に接続されることにより、バルブ開閉機構(19)及びカセット昇降機構(20)を介してバルブ(6)及び前記カセット(2)がそれぞれ駆動されるようにする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)