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1. (WO2005087391) DISPOSITIFS CMUT A MEMBRANE ASYMETRIQUE ET LEURS METHODES DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/087391    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/008259
Date de publication : 22.09.2005 Date de dépôt international : 11.03.2005
CIB :
B06B 1/02 (2006.01)
Déposants : GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION [US/US]; 505 Tenth Street, NW, Atlanta, GA 30332 (US) (Tous Sauf US).
DEGERTEKIN, F., Levent [TR/US]; (US) (US Seulement).
MCLEAN, Jeffrey, John [US/US]; (US) (US Seulement).
KNIGHT, Joshua, Glenn [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DEGERTEKIN, F., Levent; (US).
MCLEAN, Jeffrey, John; (US).
KNIGHT, Joshua, Glenn; (US)
Mandataire : SCHNEIDER, Ryan, A.; Troutman Sanders LLP, 600 Peachtree Street, Suite 5200, Atlanta, GA 30308 (US)
Données relatives à la priorité :
60/552,082 11.03.2004 US
PCT/US2005/003898 07.02.2005 US
11/053,672 07.02.2005 US
PCT/US2005/006474 28.02.2005 US
11/068,005 28.02.2005 US
11/068,129 28.02.2005 US
PCT/US2005/006408 28.02.2005 US
Titre (EN) ASYMMETRIC MEMBRANE CMUT DEVICES AND FABRICATION METHODS
(FR) DISPOSITIFS CMUT A MEMBRANE ASYMETRIQUE ET LEURS METHODES DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)Asymmetric membrane capacitive micromachined ultrasonic transducer ('cMUT') devices and fabrication methods are provided. In a preferred embodiment, a cMUT device according to the present invention generally comprises a membrane having asymmetric properties. The membrane can have a varied width across its length so that its ends have different widths. The asymmetric membrane can have varied flex characteristics due to its varied width dimensions. In another preferred embodiment, a cMUT device according to the present invention generally comprises an electrode element having asymmetric properties. The electrode element can have a varied width across its length so that its ends have different widths. The asymmetric electrode element can have different reception and transmission characteristics due to its varied width dimensions. In another preferred embodiment, a mass load positioned along the membrane can alter the mass distribution of the membrane. Other embodiments are also claimed and described.
(FR)L'invention concerne concerne des dispositifs de transducteurs ultrasonores microusinés capacitatifs ('cMUT') à membrane asymétrique et leurs méthodes de fabrication. Dans un mode de réalisation préféré, un dispositif cMUT selon l'invention comprend généralement une membrane présentant des propriétés asymétriques. Cette membrane peut présenter une largeur variable, le long de sa longueur, de sorte que ses extrémités présentent des largeurs différentes. La membrane asymétrique de l'invention peut présenter des caractéristiques de souplesse variables en raison de ses dimensions de largeurs variables. Dans un autre mode de réalisation préféré de l'invention, un dispositif cMUT comprend généralement un élément d'électrode présentant des propriétés asymétriques. Cet élément d'électrode peut présenter une largeur variée le long de sa longueur de sorte que ses extrémités présentent des largeurs différentes. L'élément d'électrode asymétrique peut présenter des caractéristiques de réception et d'émission différentes en raison de ses dimensions de largeurs variées. Dans un autre mode de réalisation préféré de l'invention, une charge de masse positionnée le long de la membrane peut modifier la distribution de masse de la membrane. D'autres modes de réalisation de l'invention sont également décrits dans la description.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)