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1. (WO2005085947) DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE LASER, APPAREIL D'EXPOSITION UTILISANT CE DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE LASER ET DISPOSITIF D'EXAMEN DE MASQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/085947    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/004381
Date de publication : 15.09.2005 Date de dépôt international : 07.03.2005
CIB :
G02F 1/37 (2006.01), G03F 1/00 (2012.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01S 3/23 (2006.01), H04J 14/08 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
KAWAI, Hitoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KAWAI, Hitoshi; (JP)
Mandataire : OHNISHI, Shogo; S.OHNISHI & ASSOCIATES, HIGASHI-IKEBUKURO SS BUILDING 1F 3-20-3, Higashi-Ikebukuro Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-063679 08.03.2004 JP
Titre (EN) LASER LIGHT SOURCE DEVICE, EXPOSURE APPARATUS USING THIS LASER LIGHT SOURCE DEVICE, AND MASK EXAMINING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE LASER, APPAREIL D'EXPOSITION UTILISANT CE DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE LASER ET DISPOSITIF D'EXAMEN DE MASQUE
(JA) レーザ光源装置、このレーザ光源装置を用いた露光装置及びマスク検査装置
Abrégé : front page image
(EN)A laser light source device (1) comprising M laser light sources the frequencies of which are shifted from the fundamental frequency by (m-1)·a·&Dgr;&ohgr;, a first laser light source section (2) and a first fiber amplifier section (4) both for amplifying the laser beams, a first optical multiplexer (6) for generally coaxially superimposing the laser beams outputted from the first fiber amplifier section (4) and outputting the resultant laser beam, and a first wavelength converter (9) for multiplying by A the frequency of the laser beam outputted from the first optical multiplexer (6), M laser light sources the frequencies of which are shifted from the fundamental frequency by (m-1)·b·&Dgr;&ohgr;, a second laser light section (3) and a second fiber amplifier section (5) both for amplifying the laser beams, a second optical multiplexer (7) generally coaxially superimposing the laser beams outputted from the second fiber amplifier section (5) and outputting the resultant laser beam, a second wavelength converter (10) for multiplying by B the frequency of the laser beam outputted from the second optical multiplexer (7) and a third wavelength converter (11) for simultaneously receiving the laser beams outputted from the first and second wavelength converters (9, 10) and converting them into a laser beam having a frequency of (A+B) times the fundamental frequency, wherein A·a + B·b=0 is satisfied.
(FR)Un dispositif de source de lumière laser (1) comprenant M sources de lumière laser, dont les fréquences sont décalées de la fréquence fondamentale de (m-1)·a·&Dgr;w, une première section de source de lumière laser (2) et une première section d'amplificateur à fibre (4) destinées toutes les deux à amplifier les faisceaux laser, un premier multiplexeur optique (6) destiné à superposer généralement de façon coaxiale les faisceaux laser émis en sortie de la première section d'amplificateur à fibre (4) et à émettre en sortie le faisceau laser résultant, et un premier convertisseur de longueur d'onde (9) destiné à multiplier par A la fréquence du faisceau laser émis en sortie du premier multiplexeur optique (6), M sources de lumière laser, dont les fréquences sont décalées de la fréquence fondamentale de (m-1)·b·&Dgr;w, une seconde section de lumière laser (3) et une seconde section d'amplificateur à fibre (5) destinées toutes les deux à amplifier les faisceaux laser, un second multiplexeur optique (7) destiné à superposer généralement de façon coaxiale les faisceaux laser émis en sortie de la seconde section d'amplificateur à fibre (5) et à émettre en sortie le faisceau laser résultant, un second convertisseur de longueur d'onde (10) destiné à multiplier par B la fréquence du faisceau laser émis en sortie du second multiplexeur optique (7) et un troisième convertisseur de longueur d'onde (11) destiné à recevoir simultanément les faisceaux laser émis en sortie des premier et second convertisseurs de longueur d'onde (9, 10) et à les convertir en un faisceau laser présentant une fréquence de (A+B) fois la fréquence fondamentale, où la relation A·a + B·b=0 est satisfaite.
(JA) 周波数が基本周波数から(m−1)・a・ΔωずれているM個のレーザ光源及びこのレーザ光を増幅する第1レーザ光源部2及び第1ファイバアンプ部4と、第1ファイバアンプ部4から出射されたレーザ光をほぼ同軸上に重ねて合わせて出射させる第1光多重化装置6と、第1光多重化装置6から出射したレーザ光の周波数をA倍する第1波長変換装置9と、周波数が基本周波数から(m−1)・b・ΔωずれているM個のレーザ光源及びこのレーザ光を増幅する第2レーザ光源部3及び第2ファイバアンプ部5と、第2ファイバアンプ部5から出射されたレーザ光をほぼ同軸上に重ねて出射させる第2光多重化装置7と、第2光多重化装置7から出射したレーザ光の周波数をB倍する第2波長変換装置10と、第1の及び第2波長変換装置9,10から出射したレーザ光を同時に入射させて基本周波数の(A+B)倍の周波数からなるレーザ光に変換させる第3波長変換装置11とからなるレーザ光源装置1が、次式A・a + B・b = 0を満足するように構成される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)