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1. (WO2005084242) PROCEDE DE FABRICATION D'UNE CIBLE DE PULVERISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/084242    N° de la demande internationale :    PCT/US2005/006229
Date de publication : 15.09.2005 Date de dépôt international : 25.02.2005
CIB :
B23K 20/10 (2006.01)
Déposants : HOWMET CORPORATION [US/US]; 1600 Harvard Avenue, Cleveland, OH 44105 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : BUTZER, Greg, A.; (US).
HUIZENGA, Robert, H.; (US).
MUSSMAN, Steven, D.; (US)
Données relatives à la priorité :
60/548,790 27.02.2004 US
60/603,528 20.08.2004 US
11/062,777 22.02.2005 US
Titre (EN) METHOD OF MAKING SPUTTERING TARGET
(FR) PROCEDE DE FABRICATION D'UNE CIBLE DE PULVERISATION
Abrégé : front page image
(EN)A method of making a large Mo billet or bar for a sputtering target wherein two or more bodies comprising Mo are placed adjacent one another (e.g. stacked one on the other) with Mo powder metal present at gaps or joints between the adjacent bodies. The adjacent bodies are hot isostatically pressed to form a diffusion bond at each of the metal-to-Mo powder layer-to-metal joint between adjacent bodies to form a billet or bar that can be machined or otherwise formed to provide a large sputtering target. The number and dimensions of the Mo bodies placed adjacent one another are selected to yield a desired large size the billet or bar suitable for the sputtering target. The billet or bar for the sputtering target exhibits a microstructure comprising equiaxed grains of less than 30 microns grain size and exhibits a low oxygen content of less than about 100 ppm by weight.
(FR)Cette invention concerne un procédé de fabrication d'une grande billette ou barre de Mo pour une cible de pulvérisation selon lequel au moins deux corps comprenant du Mo sont placés l'un à côté de l'autre (par exemple empilés l'un sur l'autre) et du métal en poudre de Mo placé au niveau d'espaces ou de joints entre les corps adjacents. Les corps adjacents sont soumis à une compression isostatique à chaud afin qu'on obtienne un soudage par diffusion au niveau de chacun des joints métal sur couche de poudre de Mo sur métal entre les corps adjacents pour former une billette ou une barre qui peut être usinée ou façonnée pour qu'on obtienne une grande cible de pulvérisation. Le nombre de corps de Mo placés les uns à côté des autres et leurs dimensions sont sélectionnés de façon qu'on obtienne une billette ou barre de la grande taille souhaitée appropriée pour la cible de pulvérisation. La billette ou barre pour la cible de pulvérisation présente une microstructure comprenant des grains équiaxes dont la taille n'excède pas 30 microns et présente une faible teneur en oxygène n'excédant pas environ 100 ppm en poids.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)