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1. (WO2005083754) UNITE D’INTEGRATION D’ALIMENTATION EN GAZ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/083754    N° de la demande internationale :    PCT/JP2005/000656
Date de publication : 09.09.2005 Date de dépôt international : 20.01.2005
CIB :
F17C 13/04 (2006.01), F17D 1/04 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : CKD CORPORATION [JP/JP]; 250, Ouji 2-chome Komaki-shi, Aichi 4858551 (JP) (Tous Sauf US).
KAWAKUBO, Osamu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TAKEICHI, Akihiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
INOUE, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIWA, Toshikazu [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KAWAKUBO, Osamu; (JP).
TAKEICHI, Akihiro; (JP).
INOUE, Takashi; (JP).
MIWA, Toshikazu; (JP)
Mandataire : COSMOS PATENT OFFICE; Annex 2nd Floor Nagoya Center Building 2-22, Nishiki 2-chome Naka-ku, Nagoya-shi Aichi 4600003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2004-056286 01.03.2004 JP
Titre (EN) GAS SUPPLY INTEGRATION UNIT
(FR) UNITE D’INTEGRATION D’ALIMENTATION EN GAZ
(JA) ガス供給集積ユニット
Abrégé : front page image
(EN)A gas supply integration unit enabling the easy extension of lines, comprising a plurality of gas units. Each gas unit is formed by integrally connecting, in series, a first manual valve (11) installed in an outlet flow passage, a second manual valve (13) installed at a position where the first manual valve (11) is allowed to communicate with a process gas common flow passage (15), a third manual valve (14) installed at a position where the first manual valve (11) is allowed to communicate with a purge gas common flow passage (16) to each other through a flow passage block. The unit also comprises a process gas common flow passage end part manual valve (22) communicating with the end part of the process gas common flow passage (15) and a purge gas common flow passage end part manual valve (23) communicating with the end part of the purge gas common flow passage (16).
(FR)Une unité d’intégration d’alimentation en gaz permettant d'étendre facilement les lignes, comprenant une pluralité d’unités au gaz. Chaque unité au gaz est formé en connectant intégralement, en série, une première valve manuelle (11) installée dans un passage d’écoulement de sortie, une deuxième valve manuelle (13) installée dans une position dans laquelle la première valve manuelle (11) peut communiquer avec un passage d’écoulement commun du gaz de formation (15), une troisième valve manuelle (14) installée dans une position dans laquelle la première valve manuelle (11) peut communiquer avec un passage d’écoulement commun de gaz de drainage (16) via un bloc de passage d’écoulement. L’unité comprend également une valve manuelle (22) de partie finale de passage d’écoulement commun de gaz de formation dotée du passage d’écoulement commun du gaz de formation (15) et une valve manuelle (23) de partie finale de passage d'écoulement commun de gaz de drainage dotée de la partie finale du passage d’écoulement commun du gaz de drainage (16).
(JA) 本発明の課題は、ラインを増設するのが容易なガス供給集積ユニットを提供することである。この課題の解決手段として、出口流路に設けられた第1手動弁11と、第1手動弁11とプロセスガス共通流路15とを連通する位置に設けられた第2手動弁13と、第1手動弁11とパージガス共通流路16とを連通する位置に設けられた第3手動弁14とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、プロセスガス共通流路15の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁22と、パージガス共通流路16の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁23とを有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)