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1. WO2005069485 - DISPOSITIF A ONDES ACOUSTIQUES DE LIMITE

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請求の範囲

[1] 圧電体と、前記圧電体の一面に積層された誘電体と、前記圧電体と誘電体との間 の境界に配置された電極とを備え、該境界を伝搬するストンリー波を利用した弾性境 界波装置において、

前記誘電体を伝搬する遅!、横波の音速及び前記圧電体を伝搬する遅!、横波の音 速よりもストンリ一波の音速を低くするように、前記電極の厚みが決定されて、ることを 特徴とする、弾性境界波装置。

[2] 圧電体と、前記圧電体の一面に積層された誘電体と、前記圧電体と誘電体との間 の境界に配置された電極とを備え、該境界を伝搬するストンリー波を利用した弾性境 界波装置において、

前記誘電体を伝搬する遅!、横波の音速及び前記圧電体を伝搬する遅!、横波の音 速よりもストンリ一波の音速を低くするように、前記電極を構成するストリップのデュー ティ比が決定されてヽることを特徴とする、弾性境界波装置。

[3] LiNbO 3を主成分とする圧電体と、前記圧電体の一面に積層されている誘電体と、 前記圧電体と前記誘電体との間の境界に配置された電極とを備え、該境界を伝搬 するストンリ一波を利用した弾性境界波装置であって、

前記 LiNbO 3を主成分とする圧電体のオイラー角( φ , θ , φ )が下記の表 1の各範 囲にあり、音速が 3757mZ秒より低いストンリ一波を利用したことを特徴とする、弾性 境界波装置。

[表 1]

φ ( ° ) θ ( ° ) Φ (。 )

30 90 225

30 270 135

30 270 315

90 90 135

90 90 315

90 270 45

90 270 225

150 90 45

150 90 225

150 270 135

150 270 315

210 90 135

210 90 315

210 270 45

210 270 225

270 90 45

270 90 225

270 270 135

270 270 315

330 90 135

330 90 315

330 270 45

330 270 225

前記誘電体を伝搬する遅!、横波の音速及び前記圧電体を伝搬する遅!、横波の音 速よりもストンリ一波の音速を低くするように、前記電極の厚みが決定されている、請 求項 2または 3に記載の弾性境界波装置。

[5] 前記誘電体を伝搬する遅!、横波の音速及び前記圧電体を伝搬する遅!、横波の音 速よりもストンリ一波の音速を低くするように、前記電極を構成するストリップのデュー ティ比が決定されている、請求項 3に記載の弾性境界波装置。

[6] LiNbO 3を主成分とする圧電体と、前記圧電体の一面に積層されており、誘電体と

、前記圧電体と誘電体との間の境界に配置された電極とを備え、ストンリ一波を利用 した弾性境界波装置であって、

前記電極の密度を p (kg/m3)、電極の膜厚を H (え)、ストンリ一波の波長を λとし たときに、 Η> 1/{ 1/ (3 Χ 107 Χ "2· 22+0. 017)— 0. 4}とされていることを特徴 とする、弾性境界波装置。

[7] 前記電極の密度 ρが、 p≥4711kgZm3である、請求項 6に記載の弾性境界波装 置。

[8] LiNbO 3を主成分とする圧電体と、前記圧電体の一面に積層されており、誘電体と

、前記圧電体と誘電体との間の境界に配置された電極とを備え、ストンリ一波を利用 した弾性境界波装置であって、

前記電極の密度を p (kg/m3)、電極の膜厚を H (え)、ストンリ一波の波長を λとし たときに、 Η>0. 03 λ力つ p > 2699kgZm3とされていることを特徴とする、弾性境 界波装置。

[9] 前記電極が、 Ag、 Au、 Cu、 Fe、 Mo、 Ni、 Ta、 W、 Ti及び Ptから選択された少なく とも 1種力もなる電極層を主体とすることを特徴とする、請求項 1一 8のいずれ力 1項に 記載の弾性境界波装置。