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1. (WO2005069345) DISPOSITIF DE RAYONNEMENT ELECTRONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/069345 N° de la demande internationale : PCT/JP2004/017463
Date de publication : 28.07.2005 Date de dépôt international : 25.11.2004
CIB :
H01J 37/073 (2006.01) ,H01J 37/12 (2006.01) ,H01J 37/147 (2006.01) ,H01J 37/29 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
04
Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
06
Sources d'électrons; Canons à électrons
073
Canons à électrons utilisant des sources d'électrons à émission par effet de champ, à photo-émission ou à émission secondaire
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
04
Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
10
Lentilles
12
électrostatiques
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
04
Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
147
Dispositions pour diriger ou dévier la décharge le long d'une trajectoire déterminée
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26
Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
29
Microscopes à réflexion
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants :
株式会社荏原製作所 EBARA CORPORATION [JP/JP]; 〒1448510 東京都大田区羽田旭町11番1号 Tokyo 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510, JP (AllExceptUS)
渡辺 賢治 WATANABE, Kenji [JP/JP]; JP (UsOnly)
佐竹 徹 SATAKE, Tohru [JP/JP]; JP (UsOnly)
中筋 護 NAKASUJI, Mamoru [JP/JP]; JP (UsOnly)
村上 武司 MURAKAMI, Takeshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
狩俣 努 KARIMATA, Tsutomu [JP/JP]; JP (UsOnly)
野路 伸治 NOJI, Nobuharu [JP/JP]; JP (UsOnly)
遠山 敬一 TOHYAMA, Keiichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
畠山 雅規 HATAKEYAMA, Masahiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs :
渡辺 賢治 WATANABE, Kenji; JP
佐竹 徹 SATAKE, Tohru; JP
中筋 護 NAKASUJI, Mamoru; JP
村上 武司 MURAKAMI, Takeshi; JP
狩俣 努 KARIMATA, Tsutomu; JP
野路 伸治 NOJI, Nobuharu; JP
遠山 敬一 TOHYAMA, Keiichi; JP
畠山 雅規 HATAKEYAMA, Masahiro; JP
Mandataire :
社本 一夫 SHAMOTO, Ichio; 〒1000004 東京都千代田区大手町二丁目2番1号 新大手町ビル206区 ユアサハラ法律特許事務所 Tokyo YUASA AND HARA, Section 206, New Ohtemachi Bldg., 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004, JP
Données relatives à la priorité :
2004-00320208.01.2004JP
Titre (EN) ELECTRON BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE RAYONNEMENT ELECTRONIQUE
(JA) 電子ビーム装置
Abrégé :
(EN) An electron device capable of evaluating a sample at high throughput and high S/N. An electron beam emitted from an electron gun is irradiated, through an electrostatic lens (4-1), an objective lens (11-1), etc., in a diagonal direction on a sample (W) placed on an X-Y-&thetas; stage (9-1), and secondary electrons or reflected electrons are discharged from the sample (W). The incident angle of the primary electron beam is set to about not less than 35º and less than 90º by controlling a polarizer (8-1). The electrons discharged from the sample (W) are guided in the vertical direction to form an image on a detector.
(FR) L'invention concerne un dispositif de rayonnement électronique apte à balayer un échantillon à haut débit et à haut S/N. Selon l'invention, un faisceau d'électrons émis par un canon à électrons traverse une lentille électrostatique (4-1), une lentille d'objectif (11-1), etc., à la diagonale sur un échantillon (W) placé sur un niveau X-Y-$g(u) (9-1), des électrons secondaires ou réfléchis étant émis par l'échantillon (W). L'angle d'incidence du faisceau d'électrons primaire est supérieur ou égal à environ 35° et inférieur à 90°, avec contrôle d'un polariseur (8-1). Les électrons émis par l'échantillon (W) sont guidés à la verticale pour former une image sur un détecteur.
(JA) not available
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Japonais (JA)
Langue de dépôt : Japonais (JA)
Également publié sous:
KR1020070007781EP1703539