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1. (WO2005069055) OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE

Pub. No.:    WO/2005/069055    International Application No.:    PCT/EP2005/000262
Publication Date: 28 juil. 2005 International Filing Date: 13 janv. 2005
IPC: G02B 17/08
G03F 7/20
G02B 17/00
Applicants: CARL ZEISS SMT AG
SHAFER, David
ULRICH, Wilhelm
DODOC, Aurelian
VON BÜNAU, Rudolf
MANN, Hans-Jürgen
EPPLE, Alexander
Inventors: SHAFER, David
ULRICH, Wilhelm
DODOC, Aurelian
VON BÜNAU, Rudolf
MANN, Hans-Jürgen
EPPLE, Alexander
Title: OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE
Abstract:
Objectif de projection catadioptrique (200) servant à prendre l'image d'une configuration située dans un plan (201) d'objet de l'objectif de projection sur un plan (202) d'image dudit objectif. Ce dernier comprend une première partie d'objectif (210) servant à prendre l'image de la configuration placée dans le plan d'objet en une première image intermédiaire, une deuxième partie d'objectif (220) servant à prendre l'image de la première image intermédiaire afin d'obtenir une deuxième image intermédiaire, une troisième partie d'objectif (230) servant à élaborer l'image de la deuxième image intermédiaire directement sur le plan d'image. Un premier miroir concave (221) possédant une première surface continue et au moins un deuxième miroir (222) concave possédant une deuxième surface continue sont situés en amont de la deuxième image intermédiaire; des surfaces de pupille sont placées entre le plan d'objet et la première image intermédiaire, entre la première et la deuxième image intermédiaire et entre la deuxième image intermédiaire et le plan d'image, ces miroirs concaves étant situés à distance d'une surface de pupille. Ce système possède une capacité élevée de nombreuses ouvertures numériques, tout en ne consommant que modérément des matériaux d'objectif.