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1. (WO2005068990) PROCEDES ET SYSTEME POUR L'EQUILIBRAGE CAPACITIF DE CAPTEURS D'HUMIDITE RELATIVE A CONDITIONNEMENT DES SIGNAUX INTEGRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/068990 N° de la demande internationale : PCT/US2003/040742
Date de publication : 28.07.2005 Date de dépôt international : 20.12.2003
CIB :
G01D 5/24 (2006.01) ,G01N 27/22 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
D
MESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉE À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; DISPOSITIONS NON COUVERTES PAR UNE SEULE DES AUTRES SOUS-CLASSES POUR MESURER PLUSIEURS VARIABLES; APPAREILS COMPTEURS À TARIFS; DISPOSITIONS POUR LE TRANSFERT OU LA TRANSDUCTION DE MESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉES À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; MESURES OU VÉRIFICATIONS NON PRÉVUES AILLEURS
5
Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière
12
utilisant des moyens électriques ou magnétiques
14
influençant la valeur d'un courant ou d'une tension
24
en faisant varier la capacité
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
27
Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques
02
en recherchant l'impédance
22
en recherchant la capacité
Déposants :
HONEYWELL INTERNATIONAL INC. [US/US]; 101 Columbia Road P.O. Box 2245 Morristown, NJ 07960, US
Inventeurs :
DAVIS, Richard, A.; US
KIRKPATRICK, Richard, A.; US
FOSTER, Ron; US
FOOTE, Steve, R.; US
Mandataire :
HOIRIIS, David ; Honeywell International Inc. 101 Columbia Road P.O. Box 2245 Morristown, NJ 07960, US
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHODS AND SYSTEM FOR CAPACITIVE BALANCING OF RELATIVE HUMIDITY SENSORS HAVING INTEGRATED SIGNAL CONDITIONING
(FR) PROCEDES ET SYSTEME POUR L'EQUILIBRAGE CAPACITIF DE CAPTEURS D'HUMIDITE RELATIVE A CONDITIONNEMENT DES SIGNAUX INTEGRE
Abrégé :
(EN) Methods of and system for balancing the capacitance of a common series capacitive circuit in a semiconductor-based sensor, such as a humidity sensor (400), are described. Relative humidity sensors can provide measurements via a series capacitive circuit including a humidity-sensitive dielectric (430) separating a common top plate (440) and first and second bottom plates (420, 425) associated with a first and second capacitor, Cx1 and Cx2. For proper operation, the common top plate should be in capacitive balance. Capacitive balance is achieved by creating voids (615, 625, 630, 640) in the common top plate (440) of the sensor (400). A system for creating voids includes a precision cutting instrument, a measuring device for enabling the measurement of capacitance of at least one of the common series capacitive circuit, Cx1 and Cx2, and a voltage source for providing a constant voltage to said series capacitive circuit.
(FR) L'invention concerne des procédés et un système pour l'équilibrage de la capacité d'un circuit capacitif série commun monté dans un capteur à semi-conducteur, tel qu'un capteur d'humidité (400). Des capteurs d'humidité relatives peuvent fournir des mesures par l'intermédiaire d'un circuit capacitif série comprenant un diélectrique (430) sensible à l'humidité qui sépare une plaque supérieure (440) commune et des première et seconde plaques de fond (420, 425) qui sont associées à un premier et à un second condensateur (Cx1 et Cx2). Pour qu'un tel capteur puisse fonctionner correctement, la plaque supérieure commune doit être en équilibre capacitif. Cet équilibre capacitif est obtenu par la création de vides (615, 625, 630, 640) dans cette plaque supérieure (440) commune du capteur (400). Un système utilisé pour créer lesdits vides comprend un instrument de coupe de précision, un dispositif de mesure, qui permet de mesurer la capacité d'au moins un des circuits capacitifs série communs (Cx1 et Cx2), ainsi qu'une source de tension, servant à fournir une tension constante au(x) circuit(s) capacitif(s) série.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
EP1695073AU2003304699