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1. (WO2005067634) TRAITEMENT DE PIECE A PRESSION MULTIPLE PERFECTIONNE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/067634 N° de la demande internationale : PCT/US2005/000423
Date de publication : 28.07.2005 Date de dépôt international : 06.01.2005
CIB :
B65G 49/07 (2006.01) ,C03C 25/68 (2006.01) ,C23C 16/00 (2006.01) ,C23F 1/00 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
G
DISPOSITIFS DE TRANSPORT OU D'EMMAGASINAGE, p.ex. TRANSPORTEURS POUR CHARGEMENT OU BASCULEMENT, SYSTÈMES TRANSPORTEURS POUR MAGASINS OU TRANSPORTEURS PNEUMATIQUES À TUBES
49
Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs
05
pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables
07
pour des plaquettes semi-conductrices
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
03
VERRE; LAINE MINÉRALE OU DE SCORIES
C
COMPOSITION CHIMIQUE DES VERRES, GLAÇURES OU ÉMAUX VITREUX; TRAITEMENT DE LA SURFACE DU VERRE; TRAITEMENT DE SURFACE DES FIBRES OU FILAMENTS DE VERRE, SUBSTANCES MINÉRALES OU SCORIES; LIAISON DU VERRE AU VERRE OU À D'AUTRES MATÉRIAUX
25
Traitement de surface des fibres ou filaments de verre, substances minérales ou scories
66
Traitement chimique, p.ex. lixiviation, traitement acide ou alcalin
68
par attaque chimique
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16
Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
F
ENLÈVEMENT NON MÉCANIQUE DE MATÉRIAU MÉTALLIQUE DES SURFACES; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; MOYENS POUR EMPÊCHER L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL; PROCÉDÉS À ÉTAPES MULTIPLES POUR LE TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES UTILISANT AU MOINS UN PROCÉDÉ COUVERT PAR LA CLASSE C23 ET AU MOINS UN PROCÉDÉ COUVERT SOIT PAR LA SOUS-CLASSE C21D, SOIT PAR LA SOUS-CLASSE C22F, SOIT PAR LA CLASSE C25308
1
Décapage de matériaux métalliques par des moyens chimiques
Déposants :
MATTSON TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 47131 Bayside Parkway Fremont, California 94538, US (AllExceptUS)
DEVINE, Daniel J. [US/US]; US (UsOnly)
GEORGE, Rene [US/US]; US (UsOnly)
PAKULSKI, Ryan, M. [US/US]; US (UsOnly)
BARKER, David, A. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs :
DEVINE, Daniel J.; US
GEORGE, Rene; US
PAKULSKI, Ryan, M.; US
BARKER, David, A.; US
Mandataire :
DORITY & MANNING, P.A.; P.O. Box 1449 Greenville, South Carolina 29602, US
Données relatives à la priorité :
60/534,49506.01.2004US
Titre (EN) ADVANCED MULTI-PRESSURE WORPIECE PROCESSING
(FR) TRAITEMENT DE PIECE A PRESSION MULTIPLE PERFECTIONNE
Abrégé :
(EN) Workpiece processing uses a transfer chamber (12) in cooperation with a process chamber (32). The workpiece (30) is to be heated to a treatment temperature, at a preheating pressure, and subsequently exposed to a plasma at a treatment pressure, which is less than the preheating pressure. The process chamber pressure does not exceed the preheating pressure, yet very rapid pressure increases can be induced in the process chamber in transitioning from the treatment pressure to the preheating pressure. The transfer chamber pressure can be maintained at the treatment pressure, the preheating pressure or raised to a selected pressure to backfill the process chamber to the preheating pressure. A backfill arrangement (54) can selectively induce rapid pressure increases in the process chamber.
(FR) L'invention concerne un traitement de pièce qui fait appel à une chambre de transfert coopérant avec une chambre de traitement. La pièce doit être chauffée à une température de traitement, à une pression de préchauffage, puis exposée à du plasma à une pression de traitement inférieure à la pression de préchauffage. Bien que la pression de la chambre de traitement ne dépasse pas la pression de préchauffage, des hausses de pression très rapides peuvent être induites dans la chambre de traitement pendant la transition entre la pression de traitement et la pression de préchauffage. La pression de chambre de transfert peut être maintenue au niveau de la pression de traitement, de la pression de préchauffage ou élevée au niveau d'une pression choisie afin de remplir la chambre de traitement à la pression de préchauffage. Un système de remplissage peut sélectivement induire des hausses de pression rapides dans la chambre de traitement. Un système de dérivation assure une communication de pression sélective entre la chambre de transfert et la chambre de traitement et peut servir à remplir la chambre de traitement depuis la chambre de transfert.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
KR1020060127019JP2007518278CN1910308