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1. (WO2005066998) INSTRUMENT D'INTERFÉRENCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/066998 N° de la demande internationale : PCT/JP2005/000111
Date de publication : 21.07.2005 Date de dépôt international : 07.01.2005
CIB :
G01B 9/02 (2006.01) ,G01B 15/00 (2006.01) ,H01J 37/295 (2006.01) ,H01J 37/305 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9
Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02
Interféromètres
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
15
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de radiations d'ondes ou de particules
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26
Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
295
Tubes à diffraction électronique ou ionique
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
30
Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets
305
pour couler, fondre, évaporer ou décaper
Déposants :
独立行政法人理化学研究所 RIKEN [JP/JP]; 〒3510198 埼玉県和光市広沢2番1号 Saitama 2-1, Hirosawa, Wako-shi, Saitama 3510198, JP (AllExceptUS)
原田 研 HARADA, Ken [JP/JP]; JP (UsOnly)
明石 哲也 AKASHI, Tetsuya [JP/JP]; JP (UsOnly)
戸川 欣彦 TOGAWA, Yoshihiko [JP/JP]; JP (UsOnly)
松田 強 MATSUDA, Tsuyoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
守谷 騰 MORIYA, Noboru [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs :
原田 研 HARADA, Ken; JP
明石 哲也 AKASHI, Tetsuya; JP
戸川 欣彦 TOGAWA, Yoshihiko; JP
松田 強 MATSUDA, Tsuyoshi; JP
守谷 騰 MORIYA, Noboru; JP
Mandataire :
小川 勝男 OGAWA, Katsuo; 〒1040033 東京都中央区新川一丁目3番3号第17荒井ビル8階 Tokyo 8th Floor No.17 Arai Building, 3-3, Shinkawa 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040033, JP
Données relatives à la priorité :
2004-00415609.01.2004JP
Titre (EN) INTERFERENCE INSTRUMENT
(FR) INSTRUMENT D'INTERFÉRENCE
(JA) 干渉装置
Abrégé :
(EN) The technical problem that the interference fringe interval (s) and the interference area width (W) which are important parameters of an interferometer using an electron beam bi-prism cannot be controlled independently of each other is solve. Two electron beam bi-prisms (9u, 9b) are used and arranged in two stages along the optical axis, and the electrode voltages of the electron beam bi-prisms are separately controlled, thereby independently controlling the interference fringe interval (s) and the interference area width (W). Simultaneously the Fresnel diffraction is avoided.
(FR) La présente invention vise à résoudre le problème technique du contrôle mutuellement indépendant de l'intervalle/des intervalles de frange d'interférence et la largeur de la zone d'interférence (W) qui sont des paramètres importants d'un interféromètre utilisant un double prisme de faisceau électronique. Deux prismes doubles (9u, 9b) sont utilisés et disposés en deux étages le long de l'axe optique, et les tensions d'électrodes des prismes doubles sont contrôlées séparément, permettant ainsi le contrôle indépendant de l'intervalle/des intervalles de frange d'interférence et de la largeur de la zone d'interférence (W). Dans le même temps, on évite la diffraction de Fresnel.
(JA) not available
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Japonais (JA)
Langue de dépôt : Japonais (JA)
Également publié sous:
JP2005197165US20070272861