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1. (WO2005066579) PROCEDE ET DISPOSITIF DESTINES A MESURER UNE EPAISSEUR DE FILM AU MOYEN DE DETECTEURS DE COURANT DE FOUCAULT COUPLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/066579 N° de la demande internationale : PCT/US2004/040878
Date de publication : 21.07.2005 Date de dépôt international : 06.12.2004
CIB :
G01B 7/06 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
7
Dispositions de mesure caractérisées par l'utilisation de moyens électriques ou magnétiques
02
pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06
pour mesurer l'épaisseur
Déposants :
LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538, US (AllExceptUS)
GOTKIS, Yehiel [IL/US]; US (UsOnly)
KISTLER, Rodney [US/US]; US (UsOnly)
OWCZARZ, Aleksander [US/US]; US (UsOnly)
FREUND, Charles [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs :
GOTKIS, Yehiel; US
KISTLER, Rodney; US
OWCZARZ, Aleksander; US
FREUND, Charles; US
Mandataire :
GENCARELLA, Michael, L.; Martine & Penilla, LLP Suite 200 710 Lakeway Drive Sunnyvale, CA 94085, US
Données relatives à la priorité :
10/749,53130.12.2003US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING FILLM THICKNESS BY MEANS OF COUPLED EDDY SENSORS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DESTINES A MESURER UNE EPAISSEUR DE FILM AU MOYEN DE DETECTEURS DE COURANT DE FOUCAULT COUPLES
Abrégé :
(EN) A method for minimizing measuring spot size and noise during film thickness measurement is provided. The method initiates with locating a first eddy current sensor directed toward a first surface associated with a conductive film. The method includes locating. a second eddy current sensor directed toward a second surface associated with the conductive film. The first and second eddy current sensors may share a common axis or be offset from each other. The method further includes alternating power supplied to the first eddy current sensor and the second eddy current sensor. In one aspect of the invention, a delay time is incorporated between switching power between the first eddy current sensor and the second eddy current sensor. The method also includes calculating the film thickness measurement based on a combination of signals from the first eddy current sensor and the second eddy current sensor. An apparatus and a system are also provided.
(FR) L'invention concerne un procédé destiné à réduire la taille d'un spot de mesure et le bruit pendant une mesure d'épaisseur de film. Ce procédé consiste d'abord à localiser un premier détecteur de courant de Foucault dirigé vers une première surface associée à un film conducteur. Le procédé consiste ensuite à localiser un second détecteur de courant de Foucault dirigé vers une seconde surface associée au film conducteur. Lesdits premier et second détecteurs de courant de Foucault peuvent partager un axe commun ou être décalés l'un par rapport à l'autre. Le procédé consiste en outre à faire alterner le courant fourni au premier détecteur de courant de Foucault et au second détecteur de courant de Foucault. Dans un aspect de l'invention, un temps de retard est intégré pendant la commutation du courant entre le premier détecteur de courant de Foucault et le second détecteur de courant de Foucault. Ce procédé consiste en outre à calculer la mesure d'épaisseur de film sur la base d'une combinaison de signaux en provenance du premier détecteur de courant de Foucault et du second détecteur de courant de Foucault. L'invention concerne également un appareil et un système.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
KR1020060116847EP1706704JP2007517218JP4590416CN1922463