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1. (WO2005065258) SONDE DE TRANCHE A SEMI-CONDUCTEUR POSSEDANT UN CIRCUIT ACTIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/065258    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/043231
Date de publication : 21.07.2005 Date de dépôt international : 21.12.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    13.07.2005    
CIB :
G01R 31/02 (2006.01)
Déposants : CASCADE MICROTECH, INC. [US/US]; 2430 N.W. 206th Avenue, Beaverton, OR 97006 (US) (Tous Sauf US).
STRID, Eric [US/US]; (US) (US Seulement).
GLEASON, K., Reed [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : STRID, Eric; (US).
GLEASON, K., Reed; (US)
Mandataire : RUSSELL, Kevin, L.; Chernoff Vilhauer McClung & Stenzel, LLP, 1600 ODS Tower, 601 S.W. Second Avenue, Portland, OR 97204 (US)
Données relatives à la priorité :
60/532,756 24.12.2003 US
60/589,346 20.07.2004 US
Titre (EN) ACTIVE WAFER PROBE
(FR) SONDE DE TRANCHE A SEMI-CONDUCTEUR POSSEDANT UN CIRCUIT ACTIF
Abrégé : front page image
(EN)A probe suitable for probing a semiconductor wafer that includes an active circuit (16). The probe may include a flexible interconnection (14) between the active circuit (16) and a support structure (10). The probe may impose a relatively low capacitance on the device under test.
(FR)Sonde servant à sonder une tranche de semi-conducteur et comprenant un circuit actif. Cette sonde peut comporter une interconnexion souple entre le circuit actif et une structure de support. Cette sonde peut imposer une capacité relativement basse sur le composant examiné.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)